ASML的光刻機型號匯總(上)

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術社區(qū)，星球號：63559049）里的學員問：ASML的光刻機有哪些型號，最近要做相關的報告，麻煩幫忙總結下。ASML，全名?ASML Holding NV,荷蘭跨國公司，成立于 1984 年。是半導體行業(yè)最大的設備供應商，也是全球唯一一家生產極紫外光刻機(EUV) 的廠商。

ASML的光刻機經歷了幾個階段：

PAS 2000：首次引入自動步進對準技術。

PAS 5000：提高分辨率和疊層精度。

PAS 5500，1991年發(fā)布：實現掃描式光刻，提升生產效率。

Twinscan XT,NXT?：雙工作臺技術，顯著提高WPH。

Twinscan?NXE EUV，2013年推出：采用極紫外光刻（EUV），支持亞20 nm制程節(jié)點。

根據型號不同我單獨做了一個表格：

由于工作量巨大，只上傳了G線，i線系列，下一期會將Twinscan中常見的ArF浸沒式，EUV光刻機羅列出來。

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