白光干涉為什么對于環(huán)境防振要求那么高

白光干涉對于環(huán)境防振要求高的原因，主要可以從其測量原理和應用需求兩個方面來解釋。

一、測量原理

白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。光源發(fā)出的光經過擴束準直后經分光棱鏡分成兩束，一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉。兩束相干光間光程差的任何變化都會靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起的。因此，任何微小的振動都可能引起光程差的變化，從而導致干涉條紋的移動，進而影響測量結果的準確性。

二、應用需求

白光干涉儀通常用于高精度測量，如半導體制造、光學加工、汽車零部件制造等領域。在這些領域中，對測量結果的準確性要求極高，任何微小的誤差都可能對產品質量和性能產生重大影響。因此，為了確保測量結果的準確性，必須盡可能減少環(huán)境振動對測量過程的干擾。

綜上所述，白光干涉對于環(huán)境防振要求高，主要是因為其測量原理敏感于光程差的變化，而環(huán)境振動會干擾光程差的穩(wěn)定性，從而影響測量結果的準確性。同時，高精度測量的應用需求也要求盡可能減少環(huán)境振動對測量過程的干擾。因此，在使用白光干涉儀進行測量時，需要采取一系列措施來減少環(huán)境振動的影響，如將儀器放置在穩(wěn)定的平臺上、使用減震裝置等。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實時”動態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復雜的問題，實現一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現卓越的重復性表現。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術，Z向測量范圍高達100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復雜形貌測量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測振系統(tǒng)，實現實現“動態(tài)”3D輪廓測量。

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實際案例

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1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

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2，毫米級視野，實現5nm-有機油膜厚度掃描

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3，卓越的“高深寬比”測量能力，實現光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。

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