ASML、NIKON、CANON光刻機(jī)型號(hào)數(shù)據(jù)匯總（2025版）

現(xiàn)在行業(yè)內(nèi)外一聊到半導(dǎo)體行業(yè)都會(huì)提及光刻機(jī)。全球三大光刻機(jī)供應(yīng)商：ASML、NIKON、CANON在過去幾十年里推出了上百種各類型號(hào)、不同技術(shù)指標(biāo)和功能的光刻設(shè)備。即便是行業(yè)內(nèi)的專業(yè)人士也無法完全背誦出來所以我也一直在花時(shí)間收集整理這些數(shù)據(jù)。

ASML、NIKON、CANON光刻機(jī)型號(hào)參數(shù)匯總

今天整理一個(gè)簡(jiǎn)易版（省略部分過于專業(yè)的參數(shù)指標(biāo)）的光刻機(jī)型號(hào)匯總，供大家參考完整數(shù)據(jù)的原始EXCEL表格文件，我已經(jīng)放到了知識(shí)星球的云盤上供會(huì)員使用。如果您對(duì)此類數(shù)據(jù)有興趣，歡迎加入我的知識(shí)星球后獲取 -- 文章最后有加入方式

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