氟化氫替代測(cè)試成功，LG 顯示已開始使用

與非網(wǎng) 9 月 2 日訊，盡管日本政府正式將韓國(guó)移出了對(duì)外貿(mào)易白名單，管制對(duì)韓國(guó)公司出口光刻膠、氟化聚酰亞胺和氟化氫等重要材料，但是日本方面最近也審批了新的對(duì)韓出口，光刻膠、氟化氫兩種產(chǎn)品都批準(zhǔn)出口了。

高純度的電子級(jí)氟化氫是氟精細(xì)化學(xué)品的一種，在半導(dǎo)體制造工藝中主要用于去除膜沉積后粘附在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)的不必要化學(xué)物質(zhì)、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之后的蝕刻細(xì)槽或孔等流程，是一種半導(dǎo)體生產(chǎn)中非常重要的原材料，日本公司在這個(gè)領(lǐng)域占據(jù)主要份額。

但是日本的制裁使得韓國(guó)公司對(duì)日本供應(yīng)鏈產(chǎn)生了警惕，即便可以進(jìn)口，三星、SK 海力士及 LG 等公司還是會(huì)替換日本材料。日前韓國(guó)媒體報(bào)道稱，LG 旗下的 LG Display 公司已經(jīng)測(cè)試成功了韓國(guó)產(chǎn)氟化氫，并開始應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)，這比原先預(yù)計(jì)的時(shí)間提早了一個(gè)月多。

據(jù)業(yè)內(nèi)消息人士稱，LG 顯示最近完成了一家韓國(guó)公司提供的高純度氟化氫的最終測(cè)試，并開始在生產(chǎn)線上使用。根據(jù)測(cè)試報(bào)告，自制的氟化氫符合產(chǎn)量和成本要求。據(jù)報(bào)道，LG 顯示將韓國(guó)氟化氫應(yīng)用于有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）面板等旗艦面板生產(chǎn)線。

此外，預(yù)計(jì)三星顯示也將在 9 月內(nèi)完成韓國(guó)高純氟化氫的測(cè)試。目前來看，測(cè)試中還未發(fā)現(xiàn)任何關(guān)鍵問題，本地產(chǎn)品很可能在最終測(cè)試后立即用于批量生產(chǎn)。此前，三星顯示使用日本和韓國(guó)材料公司的氟化氫。

與使用納米級(jí)工藝的半導(dǎo)體生產(chǎn)線不同，顯示板生產(chǎn)不需要純度為 99.9999999999％的超高純度的氟化氫。氟化氫主要用于濕法蝕刻以去除有缺陷的涂層并清潔和去除顯示板表面上的有機(jī)物質(zhì)和氧化物。

從日韓的對(duì)立情況來看，兩國(guó)的關(guān)系不太可能在短時(shí)間內(nèi)修復(fù)，日本還會(huì)繼續(xù)通過管制措施制裁韓國(guó)，但是韓國(guó)在重要材料上也決定轉(zhuǎn)向國(guó)產(chǎn)自主，預(yù)計(jì)在未來 5 年里投入 5 萬(wàn)億韓元（約合 295 億人民幣）實(shí)現(xiàn) 100 多種重要材料及裝備的國(guó)產(chǎn)化。

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