中欣晶圓 8 英寸大硅片已量產(chǎn)，12 英寸進(jìn)入試生產(chǎn)

與非網(wǎng) 9 月 23 日訊，硅片是集成電路產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，是晶圓制造的核心材料。中國大陸 8 寸、12 寸硅片自主供應(yīng)能力弱，高度依賴進(jìn)口，是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中的短板。國內(nèi)規(guī)模最大、技術(shù)最成熟，擁有自主核心技術(shù)，并真正可量產(chǎn)半導(dǎo)體大硅片的生產(chǎn)廠——杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司，大硅片項(xiàng)目 21 日在杭州錢塘新區(qū)竣工投產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)了 8 英寸大硅片的正式量產(chǎn)，同時(shí) 12 英寸大硅片生產(chǎn)線進(jìn)入調(diào)試、試生產(chǎn)階段。

報(bào)道稱，預(yù)計(jì)這一項(xiàng)目明年將實(shí)現(xiàn)月產(chǎn) 35 萬枚 8 英寸半導(dǎo)體大硅片。此外，未來幾個(gè)月內(nèi)，項(xiàng)目將完成 12 英寸生產(chǎn)線的設(shè)備安裝調(diào)試、工藝調(diào)試、品質(zhì)認(rèn)定等流程，在今年年底生產(chǎn)出高品質(zhì)的 12 英寸半導(dǎo)體大硅片。明年，12 英寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)線投產(chǎn)后，月產(chǎn)能將達(dá) 3 萬片，將大大緩解我國半導(dǎo)體大硅片供應(yīng)不足的局面。

中芯晶圓大尺寸硅片項(xiàng)目的實(shí)施主體為杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司，由日本株式會(huì)社 Ferrotec Holdings、杭州大和熱磁電子有限公司、上海申和熱磁電子有限公司合資建立，后兩者均為 Ferrotec 集團(tuán)成員。

根據(jù)原規(guī)劃，中芯晶圓大尺寸硅片項(xiàng)目建設(shè) 3 條 8 英寸（200mm）、2 條 12 英寸（300mm）半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)線。項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)將達(dá)到 8 英寸年產(chǎn) 540 萬片、12 英寸年產(chǎn) 288 萬片半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)能力，預(yù)計(jì)年收入 50 億元人民幣。

據(jù)了解，國內(nèi)大尺寸硅片尤其是 12 英寸半導(dǎo)體大硅片的供應(yīng)長(zhǎng)期被國外企業(yè)所掌控，市場(chǎng)高度壟斷。

這一項(xiàng)目的建成投產(chǎn)，將改變國內(nèi)半導(dǎo)體大硅片完全依賴國外的現(xiàn)狀，有效填補(bǔ)國內(nèi)半導(dǎo)體大硅片供應(yīng)的行業(yè)短板，有助于推動(dòng)我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

目前國內(nèi)正在積極進(jìn)行或規(guī)劃的其他 8 英寸 /12 英寸硅片項(xiàng)目還包括鄭州合晶、浙江金瑞泓、上海超硅、奕斯偉、上海新昇、寧夏銀和、中環(huán)領(lǐng)先、安徽易芯等。

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