激光位移傳感器是一種用于測量物體在空間三維坐標系中的位置和運動狀態(tài)的設備,通過激光束與被測物體相互作用,獲取物體表面的形位信息以及相應的運動學參數(shù)。
1.什么是激光位移傳感器
激光位移傳感器是一種基于激光技術的非接觸式測量裝置,主要用于高精度的位移和振動檢測。它利用激光束與被測物體之間的相互作用,采集物體表面的形態(tài)信息以及與之相關的運動學參數(shù),如位移、速度、加速度等。
2.激光位移傳感器原理
激光位移傳感器的工作原理是利用激光器產(chǎn)生的一束平行光線,經(jīng)過透鏡后照射到被測物體上,反射回來的光線再次通過透鏡對準一個受光敏電阻檢測器(PSD)的感光面上。當被測物體發(fā)生運動時,反射回來的光線會在感光面上產(chǎn)生位移,由PSD將其轉(zhuǎn)化為電信號輸出。
3.激光位移傳感器作用
激光位移傳感器可以廣泛應用于機械制造、光電子學、半導體加工等領域的位移、振動、形變和粗糙度等測量。它具有非接觸式、高精度、高分辨率、高靈敏度、響應速度快等特點,并且不受環(huán)境干擾,可以實現(xiàn)長期穩(wěn)定的測量。
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