微納加工

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  • 無掩膜光刻機(jī)，微納加工的下一個(gè)答案？
    第十四屆中國國際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)（簡稱“納博會(huì)”）在萬眾矚目中圓滿落下了帷幕。這場全球納米科技領(lǐng)域盛會(huì)，以1場主報(bào)告、13場分論壇、1場創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽，1場新產(chǎn)品發(fā)布會(huì)為主，匯聚了全球納米科技領(lǐng)域的18位院士，450多位高校研究院所、上市公司、知名企業(yè)機(jī)構(gòu)的頂級專家代表出席，分享專業(yè)報(bào)告476場，較往屆增加132場，同比增長約33%，吸引9663位嘉賓參會(huì)聽會(huì)。
    無掩膜光刻機(jī)，微納加工的下一個(gè)答案？
  • 為灣區(qū)強(qiáng)“芯”！廣東微納院半導(dǎo)體微納加工中試平臺(tái)正式通線
    7月11日，凝聚“芯”動(dòng)能，共筑“芯”高地——廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導(dǎo)體微納加工中試平臺(tái)通線暨項(xiàng)目簽約儀式在佛山南海舉行。會(huì)上，廣東微納院半導(dǎo)體微納加工中試平臺(tái)通線，二期產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)正式封頂，一批半導(dǎo)體項(xiàng)目現(xiàn)場簽約，為灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入“芯”動(dòng)能。 中國科學(xué)院蘇州納米所黨委書記鄧強(qiáng)，廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰，佛山市副市長陳新文，南海區(qū)委副書記、區(qū)長王勇，
  • 飛秒激光光絲遠(yuǎn)程傳感與微納加工
    超快強(qiáng)激光因其超高峰值功率、超短脈寬等特點(diǎn)，在大氣（或其它光學(xué)介質(zhì)）中傳輸時(shí)，會(huì)形成一個(gè)絲狀高光功率密度等離子通道，被形象地稱為“光絲”，在多相態(tài)物質(zhì)探測和分析、不規(guī)則材料表面微納加工等領(lǐng)域擁有重要應(yīng)用潛力。獲得國內(nèi)發(fā)明專利10余項(xiàng)，發(fā)表文章100余篇。
  • 濕法刻蝕
    濕法刻蝕是一種常見的微納加工技術(shù)，用于在半導(dǎo)體制造和微電子領(lǐng)域中對材料表面進(jìn)行精確的刻蝕。通過將待刻蝕的材料浸泡在化學(xué)溶液中，利用化學(xué)反應(yīng)來去除或改變材料表面的特定區(qū)域，實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)的制作。本文將介紹濕法刻蝕的定義、原理、應(yīng)用、優(yōu)缺點(diǎn)以及相關(guān)安全措施。

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