高精度晶圓劃片機切割解決方案
高精度晶圓劃片機切割解決方案 為實現(xiàn)高精度晶圓切割,需從設備精度、工藝穩(wěn)定性、智能化控制等多維度優(yōu)化,以下為關鍵實現(xiàn)路徑及技術支撐: 一、核心精度控制技術 ?雙軸協(xié)同與高精度運動系統(tǒng)? 雙工位同步切割技術通過獨立雙軸運行,適配12寸晶圓,切割效率較單軸提升50%以上,定位精度達±1μm?。 采用進口直線電機與光柵尺閉環(huán)系統(tǒng),結合實時反饋算法,確保切割路徑的納米級重復精度?。 ?動態(tài)參數(shù)智能調節(jié)?