中國MEMS產(chǎn)業(yè)如何突破瓶頸尋找出路?
“傳感器是衡量一個(gè)國家工業(yè)能力的標(biāo)準(zhǔn),”在中國半導(dǎo)體協(xié)會MEMS分會第二屆市場年會上,中科院電子所研究員、傳感器技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(北方基地)主任劉昶說道,“雖然MEMS體量不大,但沒有其他任何一個(gè)行業(yè)在納米級和微米級做微型機(jī)械產(chǎn)品。MEMS水平代表了國家核心工業(yè)實(shí)力?!眲㈥普J(rèn)為,在MEMS