HDPCVD

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  • 越制裁，越強大！重要性比肩光刻機的刻蝕設備——北方華創(chuàng)
    美日荷相繼加大對華半導體設備出口限制，國產(chǎn)替代迫在眉睫。盡管中國是全球最大半導體消費市場，但本土化缺口明顯，2023 年芯片自產(chǎn)率僅 20%、半導體設備國產(chǎn)化率為 35%、高端刻蝕機等關鍵領域國產(chǎn)化率不足 10%。隨著國產(chǎn)晶圓廠的逆勢擴張、海外制裁趨緊，本土半導體設備廠商有望擴大份額，預計2025年國產(chǎn)化率將達50%。 前面文章我們分析了國產(chǎn)半導體設備龍頭之一的中微公司，今天我們繼續(xù)深入研究半導體
    1.4萬
    2024/11/26
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  • HDPCVD的原理
    知識星球里的學員問：麻煩介紹下HDPCVD的具體用途，原理。 什么是HDPCVD? HDPCVD，全名High Density Plasma Chemical Vapor Deposition，即高密度等離子體化學氣相沉積。它產(chǎn)生的等離子體密度非常高，通常在1011至1012 ions/cm3的量級。相比之下，PECVD的等離子體密度就很低了，在間隔寬度小于0.5μm的情況下，用PECVD填充高的
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