西安紫光國芯新一代多層陣列SeDRAM技術

摘要：近日，西安紫光國芯半導體股份有限公司（以下簡稱“西安紫光國芯”）在VLSI 2023技術與電路研討會上(2023 Symposium on VLSI Technology and Circuits)公開發(fā)表了技術論文——《基于小間距混合鍵合和mini-TSV的135GBps/Gbit 0.66 pJ/bit 嵌入式多層陣列 DRAM》（135 GBps/Gbit 0.66 pJ/bit Stacked Embedded DRAM with Multilayer Arrays by Fine Pitch Hybrid Bonding and Mini-TSV），發(fā)布了新一代多層陣列SeDRAM?技術。該技術的發(fā)表是西安紫光國芯在SeDRAM方向上持續(xù)創(chuàng)新的最新突破。

本年度 VLSI 會議共收到全球投稿 632 篇，在最終錄取的212 篇中，僅有2篇來自中國內地企業(yè)，其中1篇便是來自西安紫光國芯的嵌入式多層陣列DRAM論文。

論文第一作者西安紫光國芯副總裁王嵩代表公司作論文報告

本次VLSI 2023上，西安紫光國芯發(fā)布的新一代多層陣列SeDRAM，相較于上一代單層陣列結構，新一代技術平臺主要采用了低溫混合鍵合技術（Hybrid Bonding，HB）和mini-TSV堆積技術。該技術平臺每Gbit由2048個數據接口組成，每個接口數據速度達541Mbps，最終實現業(yè)界領先的135GBps/Gbit 帶寬和0.66 pJ/bit 能效，為疊加更多層 DRAM 陣列結構提供先進有效的解決方案。

嵌入式多層陣列SeDRAM示意圖

論文通訊作者西安紫光國芯總經理江喜平表示，“2020年IEDM我們發(fā)布了第一代SeDRAM技術，之后我們實現了多款產品的大規(guī)模量產。這次發(fā)布的新一代多層陣列SeDRAM技術，實現了更小的電容電阻、更大的帶寬和容量，可廣泛應用于近存計算、大數據處理和高性能計算等領域。”

西安紫光國芯異質集成嵌入式DRAM（SeDRAM）基于混合鍵合技術實現了邏輯單元和 DRAM陣列三維集成，多項研發(fā)成果已先后在IEDM 2020、CICC 2021、ISSCC 2022等多個期刊和會議上公開發(fā)表和作專題報告。