為什么說佳能是“明智”的光刻機出貨商？

本文由半導體產業(yè)縱橫（ID：ICVIEWS）編譯自jbpress

與從“器材之王”跌落的尼康有何區(qū)別？

1995年，當日本半導體行業(yè)競爭還很激烈時，尼康在光刻設備出貨額中占有48.9%的份額，佳能占28.7%的份額，讓日本總共獲得了77.6%的份額。當時，尼康在光刻設備市場占有率第一，被譽為“器材之王”（圖1）。

圖 1 按公司劃分的光刻設備出貨量和份額（截至 2023 年）來源：根據摩根士丹利證券數據創(chuàng)建

然而，1995年市場份額為15.9%的荷蘭ASML此后市場份額快速提升，于2002年超越尼康和佳能，2010年市場份額超過80%，2021年市場份額達到90%。2023年，ASML將以94.2%的市場份額占據主導地位，而尼康的市場份額將下降至3.1%，佳能的市場份額將下降至2.8%。

ASML在ArF沉浸式設備的吞吐量和可用性方面壓倒了日本競爭對手，自2008年以來，ArF沉浸式設備已成為其主打產品。ASML已成為尖端光刻設備EUV領域的主導公司。

結果，日本在光刻設備領域的存在似乎消失了。然而，如果我們計算光刻設備的“各類光刻設備的出貨量份額”而不是“EUV光刻設備出貨量份額”，則會出現完全不同的情況。筆者想討論下面的細節(jié)。

?各公司光刻設備出貨量及占比

圖2顯示了各公司出貨的光刻設備數量。2011年至2014年，ASML出貨量從222臺減少至136臺。此外，尼康的銷量從85臺減少到34臺。另一方面，佳能的出貨量變化不大，從52臺變化到54臺。

圖2 按公司劃分的光刻設備出貨量（截至2023年）來源：根據摩根士丹利證券數據創(chuàng)建

不過，從2015年到2023年，ASML和佳能的出貨量大幅增長。ASML從169臺增加到449臺，佳能從80臺增加到187臺。另一方面，尼康的銷量從42臺增加到45臺，并沒有大幅增長。接下來我們看一下全球光刻設備的出貨量以及各公司的出貨量占比（圖3）。

圖 3 按公司劃分的光刻設備出貨量份額（截至 2023 年）來源：根據摩根士丹利證券數據創(chuàng)建

ASML的出貨量份額穩(wěn)定在65%左右。另一方面，佳能的市場份額從2011年的11.4%逐漸上升，2015年以來一直維持在30%以下。另一方面，尼康的市場份額逐漸下降，從2011年的23.7%，下降到2023年的6.6%。這樣一來，佳能在銷量份額上根本無法與ASML匹敵，但在出貨量上卻擁有ASML近一半的份額。那么，佳能大量出貨的是哪些光刻設備呢？

?各公司光刻設備出貨量

圖4顯示了各公司各種光刻設備的出貨量。只有ASML可以出貨最先進的光刻設備EUV，每臺成本為240億日元。至于每臺成本98億日元的ArF沉浸式，ASML有125臺，尼康有9臺，ASML以壓倒性優(yōu)勢領先尼康。在每臺售價31億日元的ArF干貨市場，ASML有32臺，尼康有10臺，所以尼康做得好一點。

圖 4 按公司劃分的各種光刻設備的價格和出貨量（2023 年）來源：根據摩根士丹利證券數據創(chuàng)建

其中數量最多的KrF為16億日元，ASML有184臺，尼康只有2臺，佳能有56臺。佳能在這里首次出現，佳能的56臺機器占ASML 184臺機器的30%。此外，單價7億日元的i-line，ASML出貨量為55臺，尼康出貨量為24臺，佳能出貨量為131臺，約為ASML的2.4倍。注意，各種光刻設備的價格是參考ASML的財務報告計算的。當時換算成日元是1歐元=160日元。

?佳能專注于KrF和i-line

這樣看來，佳能的戰(zhàn)略就清晰了。佳能的策略是專注于KrF和i-line，而不觸及EUV和ArF等先進技術。而且這個策略確實有效。這是因為在制造半導體時，無論多么尖端，都不可能只使用EUV；而是會使用ArF浸沒式、ArF干式、KrF和i-line。換句話說，無論未來半導體小型化進展如何，KrF和i-line總會有生意的。而且，由于設備成熟，開發(fā)成本幾乎可以忽略不計。

因此，佳能對KrF和i-line的重視可以說是非常出色的。另一方面，尼康的策略不如佳能那么明確。在 ArF 浸沒和 ArF 干燥方面，尼康無法與 ASML 匹敵。憑借 KrF 和 i-line，無法擊敗佳能。換句話說，尼康似乎正在彌補 ASML 在尖端設備方面的不足，并在彌補佳能在成熟設備方面的不足。正如開頭提到的，尼康在20世紀90年代被譽為“器材之王”。

然而，由于 ASML 和佳能，它現在得以生存。你能真正感受到事物的盛衰、無常。展望未來，ASML在尖端光刻設備方面已開始出貨下一代EUV機器“High NA”。

此外，下一代“Hyper NA”將于2030年左右開發(fā)。如此看來，佳能似乎將業(yè)務重點放在KrF和i-line上，而ASML則投入巨額研發(fā)成本，推進尖端技術。我覺得佳能放棄尖端的策略很“聰明”。

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