介紹一款光刻增粘劑-Ti Prime

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術(shù)社區(qū)，星球號：63559049）里的學員問：在做光刻時，光刻膠很容易脫落，有什么好的改進措施嗎？

為什么光刻膠會脫落？

脫落主要是因為光刻膠與晶圓的粘附性不佳，而導致粘附性不佳的原因有很多，比如晶圓的材質(zhì)原因，晶圓表面過于光滑，晶圓表面殘留水分，光刻膠過厚內(nèi)應力過大等。這個時候，在晶圓表面增加一個增粘步驟是很有必要的。

什么材質(zhì)的晶圓需要增粘劑？

硅襯底與光刻膠的粘附性較好，而氧化硅，藍寶石，砷化鎵，Au，Pt等與光刻膠的粘附性較差。以氧化硅為例，氧化硅容易吸水，具有親水性，它與于非極性的光刻膠結(jié)合力很差，需要進行增粘處理。

Ti Prime是什么？

一種有機鈦化合物增粘劑，正式勻膠前先旋涂Ti Prime，再進行烘烤，其將以亞單層的狀態(tài)吸附在晶圓表面?？捎行Ц纳乒饪棠z在硅或玻璃等基材上的附著力。

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