芯耀
1858
在半導(dǎo)體芯片制造的微觀(guān)世界里，精度就是生命線(xiàn)，晶圓厚度測(cè)量的精準(zhǔn)程度直接關(guān)聯(lián)著最終產(chǎn)品的性能優(yōu)劣。而測(cè)量探頭的 “溫漂” 問(wèn)題，宛如精密時(shí)鐘里的一粒微塵，雖小卻能攪亂整個(gè)測(cè)量體系的精準(zhǔn)節(jié)奏。深入探究其產(chǎn)生根源以及帶來(lái)的連鎖影響，對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展至關(guān)重要。
一、“溫漂” 問(wèn)題的產(chǎn)生緣由
1.環(huán)境溫度波動(dòng)
半導(dǎo)體制造車(chē)間是一個(gè)復(fù)雜的熱環(huán)境生態(tài)。一方面，大量設(shè)備持續(xù)運(yùn)行散發(fā)可觀(guān)熱量，如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等核心裝備，它們?cè)陂L(zhǎng)時(shí)間高強(qiáng)度工作過(guò)程中，猶如一個(gè)個(gè) “小火爐”，讓車(chē)間局部溫度不斷攀升。另一方面，車(chē)間的通風(fēng)、空調(diào)系統(tǒng)若無(wú)法實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的溫度均衡調(diào)控，外界氣候變化、人員進(jìn)出帶來(lái)的冷熱氣流交換，都會(huì)導(dǎo)致車(chē)間整體溫度處于動(dòng)態(tài)變化之中。對(duì)于高精度的測(cè)量探頭而言，哪怕是零點(diǎn)幾攝氏度的環(huán)境溫度起伏，都可能使其內(nèi)部敏感元件的物理特性悄然改變，成為溫漂現(xiàn)象滋生的溫床。
2.探頭自身發(fā)熱
測(cè)量探頭在工作時(shí)并非完全 “冷靜”，基于電學(xué)原理運(yùn)行的探頭，電流通過(guò)內(nèi)部電路元件必然產(chǎn)生焦耳熱。以常見(jiàn)的電阻式測(cè)量探頭為例，當(dāng)持續(xù)通電進(jìn)行晶圓厚度測(cè)量時(shí)，電阻元件因自身特性會(huì)將電能轉(zhuǎn)化為熱能，隨著測(cè)量時(shí)間延長(zhǎng)，熱量逐漸累積。同時(shí)，一些光學(xué)探頭中的光源部件，如激光發(fā)生器，在發(fā)光過(guò)程也會(huì)釋放熱量，改變光路系統(tǒng)周邊的溫度場(chǎng)。這些由探頭自身運(yùn)行產(chǎn)生的熱量，若不能及時(shí)散發(fā)出去，就會(huì)在探頭內(nèi)部形成局部高溫區(qū)域，引發(fā)關(guān)鍵部件的熱變形、熱膨脹等問(wèn)題，進(jìn)而誘發(fā)溫漂。
3.材料熱特性局限
目前市面上的測(cè)量探頭多采用多種材料復(fù)合構(gòu)建，以滿(mǎn)足不同的測(cè)量需求。然而，大多數(shù)材料都難以擺脫熱脹冷縮的物理本性。例如，探頭中的金屬結(jié)構(gòu)件，在溫度變化時(shí)，其原子間距會(huì)相應(yīng)改變，宏觀(guān)上表現(xiàn)為尺寸的伸縮；光學(xué)鏡片常用的玻璃材質(zhì)，溫度升高時(shí)，折射率會(huì)發(fā)生變化，導(dǎo)致光線(xiàn)傳播路徑偏離理想狀態(tài)。即便選用了相對(duì)低熱膨脹系數(shù)的材料，在納米級(jí)甚至更高精度要求的晶圓厚度測(cè)量場(chǎng)景下，這些材料熱特性帶來(lái)的細(xì)微變化依然足以引發(fā)顯著的測(cè)量誤差，成為溫漂現(xiàn)象的內(nèi)在驅(qū)動(dòng)因素。
二、對(duì)晶圓厚度測(cè)量的深遠(yuǎn)影響
4.精度的 “慢性侵蝕”
在晶圓厚度以納米為度量單位的精細(xì)測(cè)量中，溫漂帶來(lái)的精度偏差不容小覷。如前文所述的環(huán)境溫度每波動(dòng) 1℃，對(duì)于電容式測(cè)量探頭，其電容極板相關(guān)參數(shù)改變換算到晶圓厚度測(cè)量值，誤差可達(dá)數(shù)納米至數(shù)十納米。這意味著，原本符合工藝標(biāo)準(zhǔn)、厚度精準(zhǔn)控制在極小公差范圍內(nèi)的晶圓，可能因溫漂被誤判為厚度不合格，反之亦然。這種誤判不僅浪費(fèi)寶貴的晶圓材料，更會(huì)打亂后續(xù)一系列精細(xì)加工工序的精準(zhǔn)節(jié)奏，使芯片良品率大打折扣。
5.測(cè)量穩(wěn)定性 “搖搖欲墜”
半導(dǎo)體制造往往涉及對(duì)同一片晶圓不同位置或同一批次大量晶圓的連續(xù)測(cè)量。溫漂問(wèn)題若得不到有效遏制，測(cè)量穩(wěn)定性將遭受重創(chuàng)。由于車(chē)間溫度的自然起伏以及探頭自身發(fā)熱的不確定性，測(cè)量數(shù)據(jù)會(huì)毫無(wú)規(guī)律地跳動(dòng)。工程師上午測(cè)得一組看似穩(wěn)定的晶圓厚度數(shù)據(jù)，到下午隨著溫度升高，溫漂加劇，新測(cè)量的數(shù)據(jù)可能整體偏離上午的結(jié)果，標(biāo)準(zhǔn)差急劇增大。如此不穩(wěn)定的測(cè)量輸出，讓工藝人員難以準(zhǔn)確判斷晶圓厚度的一致性，無(wú)法精準(zhǔn)把控工藝參數(shù)，給芯片制造過(guò)程中的質(zhì)量管控蒙上厚重陰影。
6.長(zhǎng)期可靠性 “隱憂(yōu)重重”
從長(zhǎng)期視角審視，溫漂猶如一顆定時(shí)炸彈，威脅著測(cè)量探頭及整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的壽命與可靠性。頻繁的溫度變化致使探頭材料反復(fù)熱脹冷縮，加速內(nèi)部機(jī)械結(jié)構(gòu)的磨損，電子元件的老化速度也遠(yuǎn)超正常水平。長(zhǎng)此以往，探頭不僅溫漂問(wèn)題愈發(fā)棘手，還極易出現(xiàn)硬件故障，頻繁停機(jī)維修，大幅增加設(shè)備維護(hù)成本。更為致命的是，基于不準(zhǔn)確的溫漂數(shù)據(jù)持續(xù)調(diào)整晶圓加工工藝，會(huì)像蝴蝶效應(yīng)一般，在整個(gè)半導(dǎo)體制造流程中引發(fā)諸如蝕刻不均勻、薄膜沉積失控等一系列災(zāi)難性后果，最終侵蝕芯片的電學(xué)性能、穩(wěn)定性等核心競(jìng)爭(zhēng)力，讓產(chǎn)品在市場(chǎng)浪潮中黯然失色。
綜上所述，測(cè)量探頭的 “溫漂” 問(wèn)題根源復(fù)雜，影響深遠(yuǎn)。唯有從優(yōu)化車(chē)間環(huán)境溫度調(diào)控、改進(jìn)探頭散熱設(shè)計(jì)、研發(fā)新型熱穩(wěn)定材料以及運(yùn)用智能算法補(bǔ)償?shù)榷嗑S度協(xié)同發(fā)力，才能斬?cái)鄿仄@只 “精度黑手”，護(hù)航晶圓厚度測(cè)量的精準(zhǔn)航道，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)乘風(fēng)破浪駛向更高峰。
三、高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)
高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)以光學(xué)相干層析成像原理，可解決晶圓/晶片厚度TTV（Total Thickness Variation，總厚度偏差）、BOW（彎曲度）、WARP（翹曲度），TIR（Total Indicated Reading 總指示讀數(shù)，STIR（Site Total Indicated Reading 局部總指示讀數(shù)），LTV（Local Thickness Variation 局部厚度偏差）等這類(lèi)技術(shù)指標(biāo)。
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高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)，全新采用的第三代可調(diào)諧掃頻激光技術(shù)，相比傳統(tǒng)上下雙探頭對(duì)射掃描方式；可一次性測(cè)量所有平面度及厚度參數(shù)。
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1，靈活適用更復(fù)雜的材料，從輕摻到重?fù)?P 型硅 (P++)，碳化硅，藍(lán)寶石，玻璃，鈮酸鋰等晶圓材料。
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重?fù)叫凸瑁◤?qiáng)吸收晶圓的前后表面探測(cè)）
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粗糙的晶圓表面，（點(diǎn)掃描的第三代掃頻激光，相比靠光譜探測(cè)方案，不易受到光譜中相鄰單位的串?dāng)_噪聲影響，因而對(duì)測(cè)量粗糙表面晶圓）
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低反射的碳化硅(SiC)和鈮酸鋰(LiNbO3)；（通過(guò)對(duì)偏振效應(yīng)的補(bǔ)償，加強(qiáng)對(duì)低反射晶圓表面測(cè)量的信噪比）
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絕緣體上硅（SOI)和MEMS，可同時(shí)測(cè)量多 層 結(jié) 構(gòu)，厚 度 可 從μm級(jí)到數(shù)百μm 級(jí)不等。?
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可用于測(cè)量各類(lèi)薄膜厚度，厚度最薄可低至 4 μm ，精度可達(dá)1nm。
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2，可調(diào)諧掃頻激光的“溫漂”處理能力，體現(xiàn)在極端工作環(huán)境中抗干擾能力強(qiáng)，充分提高重復(fù)性測(cè)量能力。
4，采用第三代高速掃頻可調(diào)諧激光器，一改過(guò)去傳統(tǒng)SLD寬頻低相干光源的干涉模式，解決了由于相干長(zhǎng)度短，而重度依賴(lài)“主動(dòng)式減震平臺(tái)”的情況。卓越的抗干擾，實(shí)現(xiàn)小型化設(shè)計(jì)，同時(shí)也可兼容匹配EFEM系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線(xiàn)自動(dòng)化集成測(cè)量。
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3，靈活的運(yùn)動(dòng)控制方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圓片測(cè)量。
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