MEMS

MEMS，即微電子機械系統(tǒng)，是一種新興的技術領域，它將微電子技術和機械工程相結合，制造出可以在微米級別下操作的微小機械元件，通常由集成電路、傳感器、執(zhí)行機構、控制電路和封裝構成。MEMS技術不僅在微型化方面有著廣泛應用，而且可以與其他技術相結合，形成復合系統(tǒng)達到更高性能與效率。

1.MEMS是什么

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）意為微電子機械系統(tǒng)。它通過微電子加工技術在微米或亞微米尺度上設計、制造、加工、調試和應用各種機械加工結構、微機械系統(tǒng)和精密傳感器等微縮器件。由于MEMS器件的特殊制造方法和結構，使得該類微器件具備很多傳統(tǒng)機械器件所不具備的優(yōu)點，如具有更強的穩(wěn)定性、可靠性和更小的尺寸等。

2.MEMS的特點

MEMS的最大特點就是微型化，其體積和重量普遍較小，可與微處理器等集成制造，具備智能化和自適應性。MEMS還有很高的靈敏度、低功耗和高穩(wěn)定性。另外，由于其獨特的構造和物理特性，MEMS可以通過微細加工實現非常微弱的電學、光學、熱學和機械效應，它在諸如顏色分選、氣體傳感、生命科學等重要應用場合中表現出優(yōu)異的性能。

3.MEMS的主要應用

隨著MEMS制造技術的發(fā)展，MEMS已被廣泛應用于精密儀器、通信系統(tǒng)、信息處理、生物醫(yī)藥、汽車電子和航空航天等領域。具體地，MEMS的應用領域包括但不限于以下幾個方面：

1. 傳感器技術領域：壓力傳感器、流量計、陀螺儀、加速計、氣體傳感器等；
2. 光電子器件領域：數字投影、掃描顯示、光纖通信、FBG傳感器等；
3. 微機器人技術領域：微型仿生機器人、微機器人組件等；
4. 生物醫(yī)學領域：DNA芯片、基因檢測、癌癥診斷、藥物篩選等；
5. 汽車及航空電子技術領域：汽車安全氣囊、慣性導航系統(tǒng)、飛機黑匣子、傳動機構等。