晶合集成著力打造北方華創(chuàng)、安集新組合，本土化取得突破性進展

合肥晶合集成是安徽省第一家 12 英寸晶圓制造企業(yè)，專注于集成電路晶圓代工業(yè)務，目前驅動芯片產能在全球液晶面板顯示驅動芯片代工市場占有率達到 20%，在中國大陸地區(qū)液晶面板顯示驅動芯片代工市場占有率達到 85%。目前公司攜手客戶積極推動 CMOS 圖像傳感器芯片的工藝制程研發(fā)，到 2021 年公司將成為安防領域 CMOS 圖像傳感器芯片主要代工商。

晶合集成一直致力于本土化發(fā)展，在 2017 年企業(yè)剛進入量產時就引進了第一臺國產設備：北方華創(chuàng)的物理氣相沉積系統(tǒng)（Al PVD–eVictor A830）。經線上驗證，北方華創(chuàng) PVD 各方面性能達到國際產品水準，可以實現(xiàn)完全替代同類美國產品，并進行穩(wěn)定量產。2019 年，晶合集成再次引進北方華創(chuàng) Saqua 系列 12 英寸單片清洗機，自機臺 Move in 以來，雙方密切配合，穩(wěn)步推進產品工藝驗證。雙方合作研發(fā)小量換酸功能，提升藥液使用壽命，降低藥液成本。共同開發(fā)的納米噴霧(Nano spray)功能，工藝顆粒去除率明顯提升超過 97%，產品良率也得到顯著改善，2019 年 8 月 30 日，該設備正式加入生產行列，替代日本同類產品。

晶合集成加快引入本土產品的進程，從原日本機臺和美國材料的組合，轉變成北方華創(chuàng)機臺和安集材料組合，預計在產能達到 3 萬片后，在 EKC（混酸工藝）領域將全部替換為北方華創(chuàng)的設備。

北方華創(chuàng) Saqua 系列 12 英寸單片清洗機

晶合集成蔡輝嘉總經理認為，無論是降低企業(yè)生產成本，還是保持企業(yè)采購選擇的多樣性，推動本土產品參與競爭都是非常重要的。只要給時間、給機會，我對本土產品的未來非常有信心！本土化設備的進駐對于晶合甚至合肥的集成電路產業(yè)鏈發(fā)展都有著積極的推動作用，一方面，對于晶合而言，通過和北方華創(chuàng)的成功合作，不僅減少了物流時間、降低了生產成本，也讓晶合在機臺方面有了多重選擇。另一方面，本土產品的品質逐步提升，透過晶合生產良率驗證的實績，本土設備企業(yè)可以拿到參與市場中自由競爭的門票，有助于幫助合肥乃至中國半導體打造健康的產業(yè)生態(tài)。