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CINNO Research 產(chǎn)業(yè)資訊，美國紐約州 Plainview 市的外延沉積和工藝設(shè)備制造商 Veeco Instruments Inc. 近日表示，其 Propel 300 HVM 金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）系統(tǒng)已被法國格勒諾布爾的 Aledia（3D 開發(fā)和制造商）選用。結(jié)合其專有的氮化硅納米線技術(shù)，Aledia 可以基于上述 MOCVD 系統(tǒng)生產(chǎn)高分辨率的 Micro-LED 顯示面板。另據(jù) Aledia 稱，Propel 系統(tǒng)具有設(shè)備半兼容的前端模塊（EFEM）和盒對盒（cassette-to-cassette）自動控制功能，與其他競爭系統(tǒng)相比，其生產(chǎn)效率最高，缺陷率最低，這也是它被選中的原因。
Veeco 的 Propel 300 HVM MOCVD 系統(tǒng)根據(jù)外媒 semiconductor-today 報道，“亮度，對比度，響應時間和功率效率等參數(shù)對智能手表，移動設(shè)備，AR / VR（增強現(xiàn)實 / 虛擬現(xiàn)實）應用和大型電視用顯示面板非常重要，這些參數(shù)正在推動市場對 Micro-LED 解決方案需求的增加，”Aledia 首席運營官 Francis 指出，“作為我們記錄工藝過程的工具，我們相信 Veeco 的 Propel 300 HVM 平臺具有獨特的優(yōu)勢，它可以在實現(xiàn)目前世界最大產(chǎn)量的同時提供出色的過程管控功能，再者，他們支持產(chǎn)品創(chuàng)新的履歷也是我們選擇其產(chǎn)品的理由。”由于具有更高的分辨率，亮度和可靠性，Micro-LED 正在成為下一代顯示技術(shù)。市場研究公司 TrendForce 預計，Micro-LED 晶圓的產(chǎn)量將從 2021 年的 74,000 個晶片增加到 2024 年的 500 萬個以上。
Veeco 首席營銷官 Scott Kroeger 表示：“我們很高興再次被先進顯示技術(shù)的真正先驅(qū) Aledia 選中，進而可以提供業(yè)界首款 300mm MOCVD 工具來支持其 micro-LED 顯示面板的生產(chǎn)?！薄癡eeco 一直都致力于將化合物半導體的專業(yè)知識與半導體規(guī)模制造相結(jié)合，這一點在具有 EFEM 功能的 300mm 晶圓系統(tǒng)平臺上得到了充分的體現(xiàn)，”他補充說，“與 Aledia 等領(lǐng)先公司的緊密合作，進而在生產(chǎn)規(guī)模上提供更好的解決方案，這一點已經(jīng)嵌入了我們的 DNA 中。”Veeco 表示，其單晶圓 Propel 300 HVM GaN MOCVD 系統(tǒng)是一種為 GaN 基高級顯示器、功率電源、RF 和光子學設(shè)備設(shè)計的，大批量生產(chǎn)的單晶圓反應器集群系統(tǒng)。該系統(tǒng)具有單晶圓反應器平臺，它能夠在 300mm 晶圓基礎(chǔ)上提供高質(zhì)量的外延膜性能，這一點可以幫助制造商獲得最佳的均勻性，可重復性和良率。另外，Propel 300 HVM 還可配置模塊化群集室（Cluster Chambers），以實現(xiàn)最大的生產(chǎn)率和靈活性。
