【IPO】科創(chuàng)版：華卓精科將于7月29日科創(chuàng)板首發(fā)上會(huì)

7月22日，據(jù)上交所披露公告顯示，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱：華卓精科）將于7月29日科創(chuàng)板首發(fā)上會(huì)。

華卓精科長(zhǎng)期專注于納米級(jí)超精密測(cè)控技術(shù)，是國內(nèi)領(lǐng)先的集成電路制造裝備及其核心部件、精密/超精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)及相關(guān)技術(shù)供應(yīng)商。公司以光刻機(jī)雙工件臺(tái)這一超精密機(jī)械領(lǐng)域的尖端產(chǎn)品為核心，并以該產(chǎn)品的超精密測(cè)控技術(shù)為基礎(chǔ)，開發(fā)了晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等整機(jī)產(chǎn)品，以及精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、隔振器和靜電卡盤等部件衍生產(chǎn)品，應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋集成電路制造、超精密制造、光學(xué)、醫(yī)療、3C制造等行業(yè)。

光刻機(jī)雙工件臺(tái)獨(dú)供上海微電子

當(dāng)前，光刻機(jī)主要被荷蘭ASML、日本尼康、日本佳能等外國廠商長(zhǎng)期壟斷，其中ASML就獨(dú)占70%以上市場(chǎng)份額，其最先進(jìn)的光刻機(jī)工藝制程為7nm。

雖然我國光刻機(jī)研發(fā)起步較，但在持續(xù)攻堅(jiān)的努力下，國產(chǎn)光刻機(jī)龍頭企業(yè)上海微電子在低端光刻機(jī)市場(chǎng)占據(jù)了一定的市場(chǎng)地位，目前該公司最先進(jìn)的光刻機(jī)工藝制程為90nm，預(yù)計(jì)2021-2022年交付第一臺(tái)28nm工藝制程的國產(chǎn)沉浸式光刻機(jī)。

需要指出的是，要實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)的國產(chǎn)替代并不是上海微電子一家企業(yè)能夠單獨(dú)完成的，需要光刻產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)的相互配合。光刻產(chǎn)業(yè)鏈可拆分為兩個(gè)部分，一是光刻機(jī)核心組件，包括光源、鏡頭、雙工作臺(tái)、浸沒系統(tǒng)等關(guān)鍵子系統(tǒng)，二是光刻配套設(shè)施，包括光刻膠、光掩模版、涂膠顯影設(shè)備等。

其中，華卓精科主要為上海微電子提供光刻機(jī)雙工件臺(tái)，其主要功能是承載晶圓按照指定的運(yùn)動(dòng)軌跡做高速超精密運(yùn)動(dòng)并完成一系列曝光所需動(dòng)作，包括上下片、對(duì)準(zhǔn)、晶圓面型測(cè)量和曝光等。

不過，從華卓精科招股說明書來看，公司光刻機(jī)雙工件臺(tái)2017年和2018年?duì)I業(yè)收入分別是1521.37萬元、795萬元，占整體營業(yè)收入的比重較小，2019年卻沒有實(shí)現(xiàn)任何營收。這也意味著，2019年華卓精科沒有順利量產(chǎn)出貨光刻機(jī)雙工件臺(tái)。

數(shù)據(jù)來源：華卓精科招股說明書

對(duì)此，華卓精科表述，主要是目前光刻機(jī)雙工件臺(tái)仍處于小量定制生產(chǎn)階段，尚未實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)，所以對(duì)公司收入貢獻(xiàn)比較小。