南大光電：公司已建成兩條ArF光刻膠生產(chǎn)線，合計產(chǎn)能25噸

集微網(wǎng)消息（文/林雪瑩）3月25日，南大光電在投資者互動平臺就投資者關(guān)于“193nm光刻膠項目第二條生產(chǎn)線是否建設(shè)完畢，是否進行投產(chǎn)，如還未完工預(yù)計何時完工”等問詢作出回應(yīng)稱，公司已建成兩條ArF光刻膠生產(chǎn)線，合計產(chǎn)能25噸。

此外，就寧波芯港小鎮(zhèn)南大三期項目建設(shè)進度，南大光電回應(yīng)稱該工廠已經(jīng)建成。

據(jù)了解，南大光電多年來專注于關(guān)鍵半導(dǎo)體材料的技術(shù)研發(fā)，憑借多年的自主研發(fā)和實踐積累，掌握了MO源、高純ALD/CVD前驅(qū)體、氫類電子特氣、含氟電子特氣、ArF光刻膠等關(guān)鍵電子材料的核心技術(shù)，先后承擔(dān)了國家863計劃MO源全系列產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化項目及多項國家“02專項”項目，攻克了多個技術(shù)難題。半導(dǎo)體材料的研發(fā)，需要高端技術(shù)人才及行業(yè)專家的引領(lǐng)和驅(qū)動。本次激勵計劃授予價格有利于公司吸引、留住更多優(yōu)秀人才，持續(xù)激發(fā)企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)效的內(nèi)生長加速度，全面塑造人才引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)、產(chǎn)業(yè)匯聚人才的企業(yè)生態(tài)文化。

在MO源方面，公司除了在MO源2.0研發(fā)方面取得進展外，在高純、低硅低氧三甲基鋁方面加大研發(fā)力度，也取得了關(guān)鍵性的進展，為MO源業(yè)務(wù)從LED向IC、新能源行業(yè)的升級轉(zhuǎn)型奠定基礎(chǔ)。前驅(qū)體方面，除了有客制產(chǎn)品的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化外，還要將去年從杜邦集團買入的硅前驅(qū)體專利進行研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，目前進展順利。

在電子特氣方面，最新升級的超高純砷烷產(chǎn)品品質(zhì)在下游客戶的測試中已超過目前國際先進同行的技術(shù)水平，超高純磷烷產(chǎn)品進入國際一流制程的芯片企業(yè)，標志著公司氫類電子特氣已躍居世界前列?；鞖夥矫娴难邪l(fā)進展也比較好，正在積極應(yīng)對新能源產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)升級需求。