AXCELIS宣布向日廠商發(fā)運(yùn)功率注入機(jī)

/美通社/ -- 半導(dǎo)體行業(yè)離子注入支持解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商Axcelis Technologies, Inc.（納斯達(dá)克股票代碼：ACLS）今天宣布，公司向日本領(lǐng)先的功率設(shè)備芯片制造商發(fā)運(yùn)其Purion XE™高能和Purion M™中等電流Power Series™注入機(jī)。這些系統(tǒng)將用于大批量生產(chǎn)基于300mm薄硅晶圓的MOSFET和IGBT設(shè)備，以用于汽車和其他功率管理應(yīng)用。

產(chǎn)品開發(fā)執(zhí)行副總裁Bill Bintz表示：“Purion Power系列的獨(dú)特功能，結(jié)合功率設(shè)備領(lǐng)域的密集注入特性，將賦予Axcelis獨(dú)特的條件來(lái)從這一市場(chǎng)的增長(zhǎng)中受益。這些工具集成了多項(xiàng)功能和工藝控制能力，包括該平臺(tái)為功率設(shè)備市場(chǎng)提供支持的薄晶圓處理能力。我們期待擴(kuò)大Purion平臺(tái)在日本的業(yè)務(wù)范圍，并支持我們客戶實(shí)現(xiàn)提高制造能力的目標(biāo)。”