如何選擇光刻膠剝離液

光刻作為IC制造的關(guān)鍵一環(huán)常常被人重視，但是光刻膠最后都是作為犧牲層被去掉的，如何快速、干凈的去除工藝后的光刻膠是一個(gè)經(jīng)常被疏忽的問(wèn)題，但是很重要，直接影響了產(chǎn)品質(zhì)量。如何快速有效的去除光刻膠。

筆者最近就碰到一些去膠的問(wèn)題，比如正膠和負(fù)膠去除需要的工藝有差別。去膠工藝還和光刻膠受過(guò)什么樣的工藝處理有關(guān)，比如ICPRIE之后的光刻膠、還有濕法腐蝕后的光刻膠。市面上針對(duì)光刻膠去除的特殊配方的去膠液有很多種，但需要根據(jù)自身產(chǎn)品特性加以選擇。在做砷化鎵去除光阻的案例，砷化鎵是一種化合物半導(dǎo)體材料，分子式GaAs。

立方晶系閃鋅礦結(jié)構(gòu)，即由As和Ga兩種原子各自組成面心立方晶格套構(gòu)而成的復(fù)式晶格，其晶格常數(shù)是5.6419A。室溫下禁帶寬度1.428eV，是直接帶隙半導(dǎo)體，熔點(diǎn)1238℃，質(zhì)量密度5.307g/cm3，電容率13.18。在其中摻入Ⅵ族元素Te、Se、S等或Ⅳ族元素Si，可獲得N型半導(dǎo)體，摻入Ⅱ族元素Be、Zn等可制得P型半導(dǎo)體，摻入Cr或提高純度可制成電阻率高達(dá)107～108Ω·cm的半絕緣材料。砷化鎵也有容易被腐蝕的特點(diǎn)，比如堿性的氨水、酸性的鹽酸、硫酸、硝酸等。

去膠，也成為光刻膠的剝離。即完成光刻鍍膜等處理之后，需要去除光刻膠之后進(jìn)行下一步。有時(shí)直接采用丙酮+異丙醇的方式就可以去除。但是對(duì)于等離子體處理過(guò)的光刻膠，一般就比較難去除干凈。有的人把丙酮加熱到60℃，雖然去膠效果快了一些，但是丙酮沸點(diǎn)是60℃，揮發(fā)的特別快，而且丙酮蒸汽也有易燃爆炸的風(fēng)險(xiǎn)，因此找一款去膠效果好的光刻膠剝離液十分有必要。

介紹常見(jiàn)的一款剝離液，該剝離液去膠效果好，但是對(duì)砷化鎵有輕微腐蝕，不易長(zhǎng)時(shí)間浸泡。工藝參數(shù)因產(chǎn)品和光刻膠的種類而不同，但基本上都要加熱。

基本配方如下：

各組分講解：

1）NMP  

N-甲基吡咯烷酮，中文別名：NMP；1-甲基-2吡咯烷酮；N-甲基-2-吡咯烷酮。無(wú)色透明油狀液體，微有胺的氣味。揮發(fā)度低，熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性均佳，能隨水蒸氣揮發(fā)。有吸濕性。對(duì)光敏感。易溶于水、乙醇、乙醚、丙酮、乙酸乙酯、氯仿和苯，能溶解大多數(shù)有機(jī)與無(wú)機(jī)化合物、極性氣體、天然及合成高分子化合物。N-甲基吡咯烷酮在鋰電、醫(yī)藥、農(nóng)藥、顏料、清洗劑、絕緣材料等行業(yè)中廣泛應(yīng)用。

化學(xué)性質(zhì)：在中性溶液中比較穩(wěn)定。在4%的氫氧化鈉溶液中8小時(shí)后有50%~70%發(fā)生水解。在濃鹽酸中逐漸發(fā)生水解，生成4-甲氨基丁酸CH3NH(CH2)3COOH。由于羰基的反應(yīng)，可以生成縮酮或硫代吡咯烷酮..無(wú)色液體，有氨味，本品毒性小。能與水混溶，溶于乙醚、丙酮等大多數(shù)有機(jī)溶劑。能溶解大多數(shù)有機(jī)與無(wú)機(jī)化合物、極性氣體、天然及合成高分子化合物。

2）乙醇胺

水溶液呈堿性，有極強(qiáng)的吸濕性，能吸收酸性氣體，加熱后又可將吸收的氣體釋放。有乳化及氣泡作用。能與無(wú)機(jī)酸和有機(jī)酸生成鹽類，與酸酐作用生成酯。其氨基中的氫原子可被酰鹵、鹵代烷等置換?？扇?，遇明火、高溫有燃燒的危險(xiǎn)，蒸汽有毒。

3）二甲基亞砜

二甲基亞砜（簡(jiǎn)稱DMSO）是一種含硫有機(jī)化合物，英文Dimethylsulfoxide，分子式為（CH3）2SO，常溫下為無(wú)色無(wú)臭的透明液體，具有吸濕性的可燃液體，既有高極性，高沸點(diǎn)，非質(zhì)子，水混溶的特性，毒性極低，熱穩(wěn)定性好，與烷烴不混合，能溶于水、乙醇、丙醇、乙醚、苯和氯仿等大多數(shù)有機(jī)物，被譽(yù)為“萬(wàn)能Chemicalbook溶劑”。是常用的有機(jī)溶劑中，溶解能力最強(qiáng)的一種。它可以溶解大部份的有機(jī)物，包括碳水化合物、聚合物、肽，以及很多的無(wú)機(jī)鹽和氣體。它可以溶解相等于自己50-60%重量的溶質(zhì)（其他一般溶劑只可以溶解10-20%），所以它在樣本管理和高速藥物篩檢中是很重要的。在某些條件下，當(dāng)二甲基亞砜與酰氯接觸時(shí)，會(huì)發(fā)生爆炸性反應(yīng)。無(wú)色液體，具有吸濕性。幾乎無(wú)臭，帶有苦味。溶于水、乙醇、丙酮、乙醚、苯和氯仿

第二款 剝離液

2）二甘醇丁醚

朋友公司生產(chǎn)的光刻膠剝離液，可以與水互溶，省去了丙酮和IPA的清洗。