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沈陽芯源微電子設備股份有限公司成立于2002年,是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術企業(yè),專業(yè)從事半導體生產設備的研發(fā)、生產、銷售與服務,致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。 收起 展開全部
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