RFID在晶圓搬運(yùn)機(jī)中的智能化實(shí)踐
在半導(dǎo)體制造行業(yè),晶圓搬運(yùn)是一個(gè)至關(guān)重要的環(huán)節(jié),它不僅影響生產(chǎn)效率,還直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和成本。在如今的多品種少量生產(chǎn)中,要保障生產(chǎn)效率和品質(zhì),工序管理至關(guān)重要。其中最有效的手段之一,就是通過RFID方式,用CIDRW頭從CID載體中讀寫每個(gè)FOUP的信息,把握并追蹤工序進(jìn)度。RFID方式具有出色的讀寫可靠性和耐環(huán)境性,在生產(chǎn)效率的維持和耐清洗性需求較高的半導(dǎo)體制造車間,有廣泛的應(yīng)用