繼經(jīng)典邁克爾遜干涉后的零差式激光干涉技術(shù)的出現(xiàn)
零差式激光干涉技術(shù)是在經(jīng)典邁克爾遜干涉原理的基礎上發(fā)展起來的一種高精度測量技術(shù)。以下是對這一技術(shù)的詳細介紹:一、經(jīng)典邁克爾遜干涉原理邁克爾遜干涉儀是一種利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實現(xiàn)干涉的光學儀器,它是最著名的干涉儀之一,為光學干涉測量中各類干涉儀的原型。其原理主要是利用兩束相干光波在空間某點相遇時相互疊加,形成穩(wěn)定的明暗相間的干涉條紋,當被測物體發(fā)生移動時,會引起干涉條紋的移動,從而可以測量物體的