直寫光刻設(shè)備

• 繼經(jīng)典邁克爾遜干涉后的零差式激光干涉技術(shù)的出現(xiàn)

  零差式激光干涉技術(shù)是在經(jīng)典邁克爾遜干涉原理的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種高精度測量技術(shù)。以下是對這一技術(shù)的詳細(xì)介紹：一、經(jīng)典邁克爾遜干涉原理邁克爾遜干涉儀是一種利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉的光學(xué)儀器，它是最著名的干涉儀之一，為光學(xué)干涉測量中各類干涉儀的原型。其原理主要是利用兩束相干光波在空間某點(diǎn)相遇時相互疊加，形成穩(wěn)定的明暗相間的干涉條紋，當(dāng)被測物體發(fā)生移動時，會引起干涉條紋的移動，從而可以測量物體的

  萬智光學(xué)

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  02/11 09:30

  直寫光刻設(shè)備

  

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