靜電吸盤

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靜電吸盤(Electrostatic Chuck,ESC)是一種利用靜電力吸附晶圓(wafer)于基座上的夾持裝置,廣泛應(yīng)用于等離子蝕刻(Etch)、離子注入(Implant)等真空環(huán)境下的晶圓制程工藝中。

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  • 什么是靜電吸盤(ESC)?
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