靜電吸盤

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點(diǎn)資訊討論

靜電吸盤(Electrostatic Chuck,ESC)是一種利用靜電力吸附晶圓(wafer)于基座上的夾持裝置,廣泛應(yīng)用于等離子蝕刻(Etch)、離子注入(Implant)等真空環(huán)境下的晶圓制程工藝中。

靜電吸盤(Electrostatic Chuck,ESC)是一種利用靜電力吸附晶圓(wafer)于基座上的夾持裝置,廣泛應(yīng)用于等離子蝕刻(Etch)、離子注入(Implant)等真空環(huán)境下的晶圓制程工藝中。收起

查看更多
暫無相關(guān)內(nèi)容,為您推薦以下內(nèi)容

正在努力加載...