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靜電吸盤(Electrostatic Chuck,ESC)是一種利用靜電力吸附晶圓(wafer)于基座上的夾持裝置,廣泛應用于等離子蝕刻(Etch)、離子注入(Implant)等真空環(huán)境下的晶圓制程工藝中。
靜電吸盤(Electrostatic Chuck,ESC)是一種利用靜電力吸附晶圓(wafer)于基座上的夾持裝置,廣泛應用于等離子蝕刻(Etch)、離子注入(Implant)等真空環(huán)境下的晶圓制程工藝中。收起
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