2023 SITRI DAY-攀十而上 精微致遠

2023年12月1日， 2023上海國際微技術研究與創(chuàng)新論壇（2023 SITRI DAY），暨上海工研院十周年慶、第四屆菊園科技創(chuàng)新論壇、MEMS WORLD SUMMIT活動在科創(chuàng)之城——上海嘉定順利舉辦。

本次SITRI DAY活動由上海市科學技術委員會、上海市經(jīng)濟和信息化委員會、上海市國有資產(chǎn)監(jiān)督管理委員以及上海市嘉定區(qū)人民政府聯(lián)合指導，由上海微技術工業(yè)研究院、嘉定區(qū)菊園新區(qū)管委會、MEMS WORLD SUMMIT主辦，上海新微科技集團有限公司、上海菊園經(jīng)濟發(fā)展中心聯(lián)合主辦，上海嘉定區(qū)菊園科技企業(yè)服務中心、中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、上海市集成電路行業(yè)協(xié)會、上海集成電路材料研究院協(xié)辦。本次活動以“面向世界科技前沿、面向經(jīng)濟主戰(zhàn)場、面向國家重大需求、面向人民生命健康”為核心宗旨，通過建設打造一個高水平的技術交流平臺，促進科技創(chuàng)新資源的協(xié)同配置，并進一步強化上海工研院作為公共服務平臺的科技創(chuàng)新策源功能，加快推進產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新應用和成果轉化，從而引領“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)向中高端邁進，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)的高質量發(fā)展。

2023 SITRI DAY 活動現(xiàn)場

本次論壇采取線上線下相結合，除主題演講外，還設有MEMS技術、硅光技術、生命信息技術和投資孵化路演四個分論壇活動。會議邀請了中國科學院院士祝世寧教授、中國科學院院士褚君浩教授、中國工程院院士吳漢明教授、歐洲科學院及比利時皇家學院雙料院士Johan Hofkens教授、加拿大皇家科學院及工程院兩院院士Andreas Mandelis教授、法國國家醫(yī)學科學院外籍通訊院士及上海交通大學醫(yī)學院沈柏用教授、教育部長江學者及上海交通大學物理與天文學院金賢敏教授、德國弗勞恩霍夫光電微系統(tǒng)研究所（Fraunhofer IPMS）副所長J?rg Amelung先生、國際傳感器行業(yè)協(xié)會（全球董事）及萬物云首席科學家丁險峰先生以及來自博世、TDK、廣東增芯、賽微電子、豫信電科、聯(lián)合微電子、矽?？萍嫉纫槐娦袠I(yè)重點企業(yè)的高管、地區(qū)負責人及技術專家和來自長三角國創(chuàng)中心、粵港澳大灣區(qū)國創(chuàng)中心、國家智能傳感器創(chuàng)新中心、國家信息光電子創(chuàng)新中心、中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院等機構的負責人、高管、技術專家以及中國半導體行業(yè)協(xié)會副理事長及上海市集成電路行業(yè)協(xié)會秘書長郭奕武先生、SEMI中國高級總監(jiān)張文達先生、全國微機電技術標準化技術委員會李根梓秘書長等眾多產(chǎn)業(yè)界企業(yè)、平臺、機構的負責人和技術專家以及來自上海市科委、廣東省工信廳、嘉定區(qū)經(jīng)委、嘉定區(qū)科委、嘉定區(qū)國資委以及嘉定菊園新區(qū)的領導共計700余人，與其他26000余名線上產(chǎn)業(yè)界人士共同謀劃“超越摩爾”集成電路產(chǎn)業(yè)的升級與深化發(fā)展的長久之道。

主論壇現(xiàn)場照

上海市科委副主任王曄先生、中國科學院院士祝世寧教授及菊園新區(qū)黨工委書記陳懿先生為本次活動致辭。

上海市科委副主任王曄先生致辭

王曄副主任介紹了上海工研院作為上海市首家研發(fā)與轉化功能型平臺的建設背景，以及首批15家平臺的落地對上海市科創(chuàng)中心建設所起到的基石作用，并寄語上海工研院未來繼續(xù)瞄準世界科技前沿技術，引領產(chǎn)業(yè)科技發(fā)展方向，肩負起歷史賦予平臺的重任，勇做新時代科技創(chuàng)新的排頭兵。

中國科學院院士祝世寧教授致辭

祝世寧院士作為產(chǎn)業(yè)專家，回顧了他與上海工研院在硅光平臺建設過程中的淵源及雙方共同創(chuàng)立光電子集成芯片立強論壇的種種情景，期待在未來的發(fā)展中可以與平臺在光電子領域有更多的合作與交流，雙方共同推動中國光電子技術的發(fā)展，為產(chǎn)業(yè)的提升作出更大的貢獻。

嘉定區(qū)菊園新區(qū)黨工委書記陳懿先生致辭

嘉定區(qū)菊園新區(qū)黨工委書記陳懿先生代表地方對本次活動的順利舉辦表示了祝賀，并代表菊園科技創(chuàng)新論壇的主辦單位對與會嘉賓的到來表示了歡迎，同時對于上海工研院落地菊園十載為當?shù)亍俺侥枴奔呻娐樊a(chǎn)業(yè)發(fā)展所帶來的積極作用表示了感謝，并強調(diào)在未來的日子里菊園新區(qū)要進一步加強對產(chǎn)業(yè)、平臺的服務，推動創(chuàng)新鏈產(chǎn)業(yè)鏈資金鏈人才鏈深度融合，全面推動地區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

上海工研院董事長謝曉明研究員致歡迎辭

在各位嘉賓致辭完畢后，由中國科學院上海微系統(tǒng)所所長、上海工研院董事長謝曉明研究員代表本次論壇的主辦方向各位與會領導、專家以及產(chǎn)業(yè)界人士致歡迎辭。謝董事長首先感謝前來參加本次活動的參會嘉賓，隨后回顧了上海工研院響應上海市集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，探索信息領域創(chuàng)新機制、奠定上海研發(fā)與轉化功能型平臺運行模式的十年發(fā)展歷程。他還表示未來上海工研院將繼續(xù)探索“超越摩爾”技術研發(fā)與轉化以及產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設路徑，充分發(fā)揮銜接科研和產(chǎn)業(yè)以及產(chǎn)業(yè)技術策源地功能，為相關企業(yè)提供高水平的技術供給和高質量的技術服務。

隨后大會啟動了成果發(fā)布儀式，由上海工研院發(fā)布了“MEMS標準工藝模塊”以及“90nm硅光集成工藝”兩項“超越摩爾”技術成果。兩項成果均來自于上海工研院承擔的國家及市級重大專項所取得的階段性成果，可為中小企業(yè)提供MEMS制造和硅光子器件的標準化工藝，大幅提高產(chǎn)品設計效率，其中硅光集成工藝器件庫更是達到國際領先水平。

“超越摩爾”成果發(fā)布儀式

成果發(fā)布儀式后，上海工研院與摩侖科技、上海汽車芯片工程中心、聯(lián)影微電子、國家信息光電子中心、浙江大學微納電子學院、上海精測、增芯科技、利揚芯片、煒盛科技及大立科技等“超越摩爾”集成電路生態(tài)圈戰(zhàn)略合作伙伴代表簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，旨在打通長三角與粵港澳大灣區(qū)以及中部地區(qū)產(chǎn)業(yè)區(qū)域限制，實現(xiàn)從設備、芯片生產(chǎn)、設計到封裝測試的全產(chǎn)業(yè)鏈布局，助力上海“超越摩爾”集成電路產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展。

“超越摩爾”集成電路生態(tài)圈戰(zhàn)略合作伙伴代表簽約儀式

活動過后，上海工研院總經(jīng)理董業(yè)民博士作了《建設具有全球影響力的“超越摩爾”功能型創(chuàng)新平臺》的主題報告。報告回顧了上海工研院十年以來發(fā)展的芯路歷程以及取得的一些成績，在未來的發(fā)展過程中，上海工研院將繼續(xù)圍繞上海集成電路一體兩翼戰(zhàn)略，聚焦“超越摩爾”芯片制造核心技術及產(chǎn)業(yè)孵化，打造一個具有全球影響力的“超越摩爾”集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

上海工研院董業(yè)民博士發(fā)言

歐洲科學院/比利時皇家科學與藝術學院雙料院士及比利時魯汶大學化學系終身教授Johan Hofkens教授分享了《The Power of One: From Single Molecule Investigations to Materials Research and Beyond》的主題報告，報告探討了單分子光譜學對應用該技術的各個領域都產(chǎn)生的巨大影響，從催化、等離子體學、聚合物物理學、生物物理學到細胞生物學和 DNA 測序。此外，報告中還分享了單分子技術和新顯微鏡模式的開發(fā)如何推動材料科學和生物科學的發(fā)展。

比利時魯汶大學Johan Hofkens教授發(fā)言

來自中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院集成電路所所長周峰先生隨后分享了《智能傳感器及硅光技術行業(yè)趨勢》的主題報告，報告詳細闡述了國內(nèi)外智能傳感器的分類、技術路線以及行業(yè)發(fā)展趨勢，其中重點介紹了硅光技術在智能傳感器領域的應用和未來發(fā)展趨勢。來自TDK-InvenSense副總裁張宏達博士帶來了《Enriching Lives with Sensing Solutions——運用傳感解決方案豐富生活》的主題演講，報告介紹了TDK MEMS傳感器的工作原理和產(chǎn)品特點，特別介紹了TDK-InvenSense 專有的 CMOS-MEMS 片上系統(tǒng)平臺在傳感器制造中的優(yōu)勢。

來自德國弗勞恩霍夫光電微系統(tǒng)研究所（Fraunhofer IPMS）的J?rg Amelung先生以及Sandro Koch博士分享了《From Concept to Production: Unleashing the Potential of MEMS-based Ultrasound》的主題報告。報告介紹了MEMS器件的進步和特定技術發(fā)展的關系，以及弗勞恩霍夫光電微系統(tǒng)研究所開發(fā)的基于MEMS的微機械超聲換能器（MUT）所獨有的特性技術等創(chuàng)新應用案例。

主論壇最后舉行了第五屆菊園科技創(chuàng)新論壇輪值主席交接儀式。第四屆論壇主辦單位中國科學院上海微系統(tǒng)所代表俞文杰副所長與下一屆主辦單位中國工程物理研究院上海激光等離子體研究所代表黨委副書記高妍琦先生完成了論壇輪值主席的交接儀式，順利完成了主論壇活動。

菊園科技創(chuàng)新論壇輪值主席交接儀式

下午MEMS技術、硅光技術、生命信息技術分論壇和投資孵化路演活動同時開展，各論壇集聚了包括吳漢明院士、褚君浩院士、祝世寧院士、沈柏用院士、Andreas Mandelis院士、Robert Pan博士，李昕欣研究員（國家杰青）、金賢敏教授（長江學者）以及來自華為、華進半導體、華大科技、安靠封裝、大立科技、博世、聯(lián)影微電子、藥明生物、國家信息光電子中心和上海工研院的二十余位專家為大家?guī)砹酥黝}報告、圓桌論壇等技術分享活動。投資孵化路演活動現(xiàn)場集聚了十五家創(chuàng)新科技企業(yè)的創(chuàng)新項目和近百位投資人，為創(chuàng)新企業(yè)的發(fā)展帶來了機遇。

本次上海國際微技術研究與創(chuàng)新論壇活動依托上海工研院平臺優(yōu)勢，進一步暢通了“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)的溝通渠道，協(xié)同推動產(chǎn)業(yè)技術的創(chuàng)新應用和成果轉化，為中小企業(yè)的孵化、培育和發(fā)展提供了更好的創(chuàng)新服務。同時擴大了上海打造集成電路“一體兩翼”空間布局影響力，將吸引更多全產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)落戶上海，加快構筑上海集成電路產(chǎn)業(yè)新高地。

關于上海微技術工業(yè)研究院（SITRI）：上海微技術工業(yè)研究院（SITRI）成立于2013年，由上海市科學技術委員會、嘉定區(qū)政府和中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所發(fā)起成立，是集研發(fā)、工程、產(chǎn)業(yè)化及培育于一體的研發(fā)與轉化功能型平臺，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供深度工藝技術支持和服務。SITRI在上海聯(lián)和投資有限公司服務國家戰(zhàn)略、做科創(chuàng)發(fā)展先行者排頭兵戰(zhàn)略使命的指導下，依托中國科學院上海微系統(tǒng)所“三位一體”創(chuàng)新架構模式建立，通過上海微系統(tǒng)所技術力量的支撐以及上海新微科技集團投資運營模式的支持，與國內(nèi)外眾多的產(chǎn)、學、研組織建立了緊密的合作關系，實現(xiàn)創(chuàng)新成果的高效率產(chǎn)業(yè)化，加速“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)建立。

• SITRI擁有全國首條8英寸“超越摩爾”（More than Moore）研發(fā)中試線，提供MEMS、硅光、生物芯片等“超越摩爾”核心工藝技術，為設計、裝備和材料等半導體公司提供高效的研發(fā)、中試和驗證服務，實現(xiàn)從研發(fā)到小批量生產(chǎn)無縫對接。
• 截至目前，SITRI已累計申請專利857項，發(fā)明專利655項，其中PCT（國際專利）專利54項。
• SITRI立足上海、輻射長三角、面向全國，已初步形成“超越摩爾”領域的產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系。

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