Park Systems擴(kuò)展FX大型樣品AFM產(chǎn)品線

/美通社/ -- 全球原子力顯微鏡（AFM）領(lǐng)軍企業(yè)Park Systems在2025年韓國半導(dǎo)體展覽會(huì)上推出了擴(kuò)展版FX大型樣品AFM系列產(chǎn)品。 繼Park FX200在2024年西部半導(dǎo)體展覽會(huì)（SEMICON West）首次亮相并隨后在德國、日本和韓國市場獲得強(qiáng)烈反響之后，Park Systems又推出了用于300毫米晶圓分析的Park FX300，以及集成了紅外（IR）光譜技術(shù)的Park FX200 IR和FX300 IR，進(jìn)一步拓展了大型AFM技術(shù)的邊界。

Park FX大型樣品AFM系列：從左至右依次為FX200 IR、FX300、FX300 IR

隨著300毫米晶圓成為半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)，Park FX300應(yīng)運(yùn)而生，專為那些追求高精度分析但又不希望采用復(fù)雜全自動(dòng)在線系統(tǒng)的用戶而設(shè)計(jì)。 對(duì)于正考慮在過渡到在線制造之前引入AFM的公司來說，Park FX300無疑是理想的解決方案。

Park FX300針對(duì)工業(yè)和研究應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化，有望成為行業(yè)變革者，為眾多AFM技術(shù)部署先進(jìn)的分析和質(zhì)量控制能力。 它配備了多項(xiàng)專業(yè)功能，如用于半導(dǎo)體后處理過程中銅焊盤長距離平整度測量的滑動(dòng)平臺(tái)、用于晶圓級(jí)封裝中樣品精確對(duì)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，以及用于增強(qiáng)樣品可視化的離軸光學(xué)系統(tǒng)。 此外，其風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU）可確保受控的無污染環(huán)境，非常適用于潔凈室應(yīng)用。

Park Systems還推出了FX200 IR和FX300 IR，將其AFM技術(shù)擴(kuò)展至納米級(jí)化學(xué)分析領(lǐng)域。 通過將傅里葉變換紅外光譜（FTIR）與AFM相結(jié)合，這些型號(hào)利用光誘導(dǎo)力顯微鏡（PiFM）技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了小于5 nm的空間分辨率的化學(xué)識(shí)別。 這一突破使研究人員和工程師能夠在不損壞晶圓表面的前提下分析納米級(jí)結(jié)構(gòu)的化學(xué)成分，為半導(dǎo)體、高分子材料和生命科學(xué)領(lǐng)域的材料表征開辟了新的可能性。

FX200 IR和FX300 IR適用于從小尺寸樣品到200 mm或300 mm晶圓的檢測，能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率紅外光譜成像，為材料成分和分子相互作用提供前所未有的深入解析。 憑借其在超精細(xì)尺度上捕捉化學(xué)鍵合信息的能力，該技術(shù)以無與倫比的精度提升了半導(dǎo)體缺陷分析、高分子研究和先進(jìn)材料表征。

秉承Park Systems最大限度提高效率并盡量減少人工干預(yù)的理念，F(xiàn)X大型樣品AFM系列通過自動(dòng)化的探針識(shí)別與更換、用于探針狀態(tài)監(jiān)測的二維碼系統(tǒng)，以及AI驅(qū)動(dòng)的激光對(duì)準(zhǔn)功能，提升了可用性，實(shí)現(xiàn)了流暢操作。 StepScan?功能通過實(shí)現(xiàn)預(yù)定義坐標(biāo)下的自動(dòng)化連續(xù)測量，進(jìn)一步提高了效率，使研究人員能夠以最少的人工干預(yù)分析表面形貌、電氣、機(jī)械和磁性特性。 特別是在紅外（IR）應(yīng)用中，激光對(duì)準(zhǔn)常常是一個(gè)重大挑戰(zhàn)，而該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了這一過程的完全自動(dòng)化，使得高分辨率化學(xué)分析比以往任何時(shí)候都更容易實(shí)現(xiàn)。

Park Systems執(zhí)行副總裁Sang-Joon Cho博士強(qiáng)調(diào)了公司對(duì)技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)地位的承諾：“Park Systems在精密測量和自動(dòng)化領(lǐng)域擁有數(shù)十年的專業(yè)知識(shí)和創(chuàng)新經(jīng)驗(yàn)，我們將這些經(jīng)驗(yàn)融入其中，對(duì)FX大型樣品AFM系列進(jìn)行了優(yōu)化，使其能夠在工業(yè)和研究領(lǐng)域提供最高水平的晶圓分析。 Park FX300和nano-IR系統(tǒng)正在重新定義工業(yè)級(jí)和研究級(jí)AFM應(yīng)用的界限，為我們的客戶提供最先進(jìn)的AFM技術(shù)，共同塑造納米科學(xué)的未來?！?/p>

憑借最新的創(chuàng)新成果，Park Systems繼續(xù)鞏固其在原子力顯微鏡領(lǐng)域的全球領(lǐng)先地位，為不斷變化的半導(dǎo)體和納米科學(xué)研究需求提供行業(yè)領(lǐng)先的解決方案。