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張通社 zhangtongshe.com
以技術(shù)為矛、以產(chǎn)業(yè)為盾。
近日，廣東星空科技裝備有限公司（以下簡(jiǎn)稱“智慧星空”）宣布完成超8億元戰(zhàn)略融資。本次融資由浦東科創(chuàng)集團(tuán)及海望資本領(lǐng)投，國(guó)投（廣東）科技成果轉(zhuǎn)化基金等多家機(jī)構(gòu)跟投。本輪融資后，其注冊(cè)資本從1.97億元增至2.94億元，增幅達(dá)49%，創(chuàng)下國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域年度單筆融資新高。其中，浦東科創(chuàng)集團(tuán)及旗下基金海望資本出資近3億元。
據(jù)企查查顯示，智慧星空2021年成立于廣州，同年在上海浦東成立了智慧星空（上海）工程技術(shù)有限公司，創(chuàng)始人賀榮明是中國(guó)光刻機(jī)之父。他曾任職上海微電子裝備有限公司（又稱“SMEE”），帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)造出國(guó)內(nèi)首臺(tái)光刻機(jī)；完成歷史使命后，他再度創(chuàng)業(yè)，聚焦半導(dǎo)體器件專用設(shè)備、精密制造裝備領(lǐng)域。
隨著智慧星空技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新，市場(chǎng)快速布局，公司的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程也在加速。去年，智慧星空總部及高端裝備產(chǎn)業(yè)化基地項(xiàng)目在浦東落地，成為去年浦東10個(gè)重大科技產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目之一。在吸金能力上，集聚騰訊投資、海望資本、浦東科創(chuàng)集團(tuán)、國(guó)投創(chuàng)業(yè)、中信金石等知名投資機(jī)構(gòu)，陣容豪華。
中國(guó)光刻機(jī)之父二次創(chuàng)業(yè)，曾造出國(guó)內(nèi)首臺(tái)光刻機(jī)
在創(chuàng)立智慧星空之前，賀榮明在半導(dǎo)體裝備行業(yè)就頗負(fù)盛名。
1985年，賀榮明畢業(yè)于同濟(jì)大學(xué)機(jī)械工程管理系。80年代的大學(xué)生，身上有著天然的責(zé)任感和報(bào)國(guó)情懷，他也不例外。畢業(yè)后，他先是進(jìn)入原上海機(jī)電工業(yè)管理局，從事國(guó)外技術(shù)的引進(jìn)工作 ，后又進(jìn)入上海電氣（集團(tuán)）總公司（以下簡(jiǎn)稱“上海電氣”）。2002年，時(shí)任上海電氣執(zhí)行副總裁的他受上級(jí)委派，在浦東張江組建上海微電子裝備有限公司，開(kāi)啟了在半導(dǎo)體領(lǐng)域的創(chuàng)業(yè)之路。
在賀榮明的帶領(lǐng)下，一批年輕科技人員集聚到張江，開(kāi)始了“造中國(guó)人自己光刻機(jī)”的歷程。彼時(shí)，國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)相對(duì)落后，更不必說(shuō)造光刻機(jī)這種高技術(shù)壁壘裝備，無(wú)論是專業(yè)人員還是配套的零件供應(yīng)鏈，都讓賀榮明無(wú)從下手。
為實(shí)現(xiàn)核心技術(shù)自主可控的研發(fā)目標(biāo)，一方面，賀榮明深入研究國(guó)際大型復(fù)雜工程項(xiàng)目的管理?xiàng)l例，將先進(jìn)經(jīng)驗(yàn)與光刻機(jī)的研發(fā)結(jié)合，堅(jiān)持用產(chǎn)品化、工程化的方式進(jìn)行研發(fā)；另一方面，他重視創(chuàng)新，有效運(yùn)用創(chuàng)新實(shí)踐解決多項(xiàng)實(shí)際問(wèn)題。
時(shí)間來(lái)到2007年，經(jīng)過(guò)賀榮明及其團(tuán)隊(duì)多年努力，首臺(tái)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)成功曝光；2009年，自主設(shè)計(jì)、制造和集成的國(guó)內(nèi)首臺(tái)100納米投影光刻機(jī)樣機(jī)研制取得成功，使國(guó)內(nèi)高端光刻機(jī)的水平有了重大突破，并為國(guó)家02科技重大專項(xiàng)高端光刻機(jī)項(xiàng)目的持續(xù)實(shí)施奠定了良好基礎(chǔ)；2010年，推出先進(jìn)封裝光刻機(jī)，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率超80%，同時(shí)占領(lǐng)了33%的國(guó)際市場(chǎng)。在全世界為數(shù)不多的光刻機(jī)廠商名單中，第一次出現(xiàn)了中國(guó)企業(yè)名字：SMEE，并成功進(jìn)入蘋(píng)果供應(yīng)鏈。
2021年，功勛卓著的他選擇進(jìn)行人生第二次創(chuàng)業(yè)，聚焦半導(dǎo)體器件專用設(shè)備、精密制造裝備領(lǐng)域，創(chuàng)立了智慧星空。
聚焦半導(dǎo)體器件專用設(shè)備、精密制造裝備領(lǐng)域，產(chǎn)品填補(bǔ)國(guó)產(chǎn)高端測(cè)試裝備空白
作為國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的核心操盤手，賀榮明的第二次創(chuàng)業(yè)仍聚焦于“國(guó)之重器”，將在光刻機(jī)研發(fā)中積累的精密機(jī)械、運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)延伸至半導(dǎo)體檢測(cè)、封裝設(shè)備。
智慧星空由國(guó)內(nèi)外長(zhǎng)期從事大型裝備與儀器設(shè)計(jì)、開(kāi)發(fā)、集成及銷售的高層次人才團(tuán)隊(duì)發(fā)起組建，以精密機(jī)械、精密光電、精密運(yùn)動(dòng)、精密控制以及復(fù)雜軟件為核心技術(shù)，研制半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體、精密制造、新能源、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域的創(chuàng)新裝備。
目前，智慧星空的產(chǎn)品主要有光刻設(shè)備、自動(dòng)鍵合設(shè)備、納米壓印設(shè)備、量測(cè)設(shè)備等半導(dǎo)體重要設(shè)備，填補(bǔ)國(guó)產(chǎn)高端測(cè)試裝備空白。
其中，在光刻機(jī)設(shè)備上，智慧星空自主研發(fā)創(chuàng)新型整面曝光機(jī)，適用于高端顯示、封裝基板、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域的Micro-LED大面積曝光、封裝基板大面積曝光和扇出大芯片曝光。
智慧星空的納米壓印設(shè)備具備自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)壓印能力，可應(yīng)用于玻璃母模、扇出壓印、微透鏡陣列、光波導(dǎo)鏡片、MEMS等領(lǐng)域。
由智慧星空自主研發(fā)的iCB系列自動(dòng)芯片鍵合設(shè)備與iAB系列自動(dòng)晶圓鍵合設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)芯片與芯片（晶圓）、晶圓與晶圓鍵合。iCB系列產(chǎn)品適用于紅外傳感器、MicroLED、Chiplet；iAB系列產(chǎn)品則適用于晶圓級(jí)MEMS封裝鍵合、3D IC鍵合、CIS封裝鍵合等應(yīng)用。
在量測(cè)設(shè)備上，智慧星空自主研發(fā)的i3D系列非接觸式光學(xué)面形檢測(cè)設(shè)備與iFM系列芯片位置測(cè)量設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱光學(xué)元件3D形貌的超精密、高速測(cè)量與高精度樣品圖案位置信息的測(cè)量。i3D適用于透明與非透明、光滑與粗糙等多種表面類型的檢測(cè)分析；iFM可應(yīng)用于測(cè)量重構(gòu)片位置、光罩圖案位置等。
可以預(yù)見(jiàn)，隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入高速發(fā)展期，依托在光刻、鍵合、量測(cè)及納米壓印四大產(chǎn)品線的產(chǎn)品矩陣，智慧星空的業(yè)務(wù)將迎來(lái)快速發(fā)展。
投資6.5億元落子康橋，成為浦東10個(gè)重大科技產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目之一
公開(kāi)信息顯示，智慧星空近日完成融資金額合計(jì)超8億元，其中，領(lǐng)投方浦東科創(chuàng)集團(tuán)及海望資本聯(lián)合出資近3億元，在總投資額中占比近三分之一。
作為上海地方國(guó)資平臺(tái)的浦東科創(chuàng)集團(tuán)，為何會(huì)選擇投資位于廣州的智慧星空？這需回溯至智慧星空創(chuàng)立前的淵源——早在企業(yè)籌備階段，創(chuàng)始人賀榮明任職上海微電子董事長(zhǎng)期間，浦東科創(chuàng)集團(tuán)就已對(duì)其技術(shù)背景和行業(yè)洞察保持持續(xù)關(guān)注，并建立了良好的溝通渠道。
在賀榮明創(chuàng)立智慧星空沒(méi)多久后，企業(yè)便面臨產(chǎn)能擴(kuò)張與業(yè)務(wù)整合的迫切需求，亟需匹配半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)的專業(yè)化工業(yè)用地。正當(dāng)企業(yè)為拿地問(wèn)題焦灼之時(shí)，浦東科創(chuàng)集團(tuán)主動(dòng)介入，招引企業(yè)在浦東落地，并幫助企業(yè)申請(qǐng)相關(guān)政策。
從土地選址、政策申報(bào)到產(chǎn)線建設(shè)，浦東科創(chuàng)集團(tuán)全程參與資源對(duì)接，助力智慧星空快速完成上海浦東基地的產(chǎn)能布局。2024年12月，浦東新區(qū)重大產(chǎn)業(yè)及配套項(xiàng)目開(kāi)工儀式盛大舉行，智慧星空便是十個(gè)重大科技產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目之一。值得一提的是，開(kāi)工儀式就在智慧星空總部及高端裝備產(chǎn)業(yè)化基地項(xiàng)目建設(shè)工地上舉行，足以見(jiàn)得浦東對(duì)該項(xiàng)目的重視程度。
開(kāi)工儀式現(xiàn)場(chǎng)，賀榮明上臺(tái)發(fā)言
據(jù)了解，智慧星空總部及高端裝備產(chǎn)業(yè)化基地建設(shè)項(xiàng)目位于康橋工業(yè)區(qū)東區(qū)H05C-01地塊，占地面積約43畝，總投資約6.5億元，總建筑面積約6.7萬(wàn)平方米。項(xiàng)目主要發(fā)展兩大類產(chǎn)品——人工智能芯片關(guān)鍵工藝高端裝備、生命科學(xué)先進(jìn)科學(xué)儀器和研發(fā)設(shè)備，投產(chǎn)后預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)工業(yè)產(chǎn)值10億元。
隨著其浦東基地的全面投產(chǎn)，智慧星空將成為推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體中后道設(shè)備自主化的核心力量。
未來(lái)，智慧星空這家從上海微電子“基因鏈”中生長(zhǎng)出的創(chuàng)新企業(yè)，將以技術(shù)為矛、以產(chǎn)業(yè)為盾，向著成為全球半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的關(guān)鍵參與者加速邁進(jìn)。
文字｜張文琪 ? ? ?編輯｜劉程星
