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CINNO Research 產(chǎn)業(yè)資訊，日本光偵測器制造商浜松（Hamamatsu Photonics）研發(fā)了一款可快速檢測晶圓上micro LED的外觀、輝度、發(fā)光波長是否有異常的“MiNYTM PL micro LED PL 檢測設備 C15740-01”。
采用光致發(fā)光測量技術(shù)（Photo Luminescence，以下簡稱為“PL”）來檢測micro LED的異常問題，所用光致發(fā)光測量技術(shù)是基于濱松自主研發(fā)的成像模組（Imaging Module）和圖像處理技術(shù)。
MiNYTM PL系統(tǒng)在檢測Micro LED芯片時能夠快速判斷芯片是否合格，這有利于提升顯示用Micro LED產(chǎn)品的良率及Micro LED的研發(fā)效率。。此外，有望在未來的量產(chǎn)中有效地進行全數(shù)檢車（全面檢測）。自3月8日（星期一）起，開始向日本國內(nèi)外的LED廠家、顯示屏廠家銷售此產(chǎn)品。
注：PL測量法，即Photo Luminescence，通過圖像顯示光激發(fā)發(fā)光，以不接觸、不破壞的方式評價LED等產(chǎn)品的特性。
研發(fā)背景
單邊尺寸在100微米（以下簡稱為“um”，是一米的百萬分之一）以下的LED被稱為“micro LED”。與液晶、有機EL（OLED）等傳統(tǒng)顯示屏相比，micro LED具有高輝度、低功耗、長壽命的特點，因此作為新一代顯示屏具有良好的市場前景，正在推進提高良率的研發(fā)工作。
通常LED是運用可視光圖像進行外觀檢查，用測試針對準晶圓上數(shù)萬個LED并通電，通過使LED發(fā)光來檢測其發(fā)光特性（EL檢測）。然而，一片晶圓上有數(shù)百萬顆micro LED，就難以再運用EL檢測來實現(xiàn)全數(shù)檢測。此外，雖然也可以運用分光器來檢測發(fā)光特性，但單次檢測的范圍有限，因此迫切需要一種可全數(shù)檢測micro LED外觀，且可以快速檢測其輝度、發(fā)光波是否有異常的設備。
產(chǎn)品概要
本產(chǎn)品是一種依據(jù)可視光、PL兩種圖像來快速檢測晶圓上micro LED外觀、輝度、發(fā)光波長的設備。
將由micro LED形成的、直徑約為150mm的晶圓置于本產(chǎn)品上，即可通過可視光獲得micro LED的缺陷、傷痕等外觀信息。然后，通過PL圖像獲得輝度、發(fā)光波長的信息，匯總并解析以上信息來判斷產(chǎn)品是否為良品。
檢測結(jié)果的印象圖（圖片來源：浜松官網(wǎng)）
此次，浜松通過利用其自主研發(fā)的光學零部件組成的特殊結(jié)構(gòu)攝像頭，研發(fā)了這款成像模組（Imaging Module），它可以同時獲得晶圓上micro LED的輝度、發(fā)光波長、PL圖像（不使用分光器）。此外，由于能夠?qū)姸染鶆蚯曳€(wěn)定的光（相對于照射面而言）照射在micro LED上以獲得PL圖像，因此可以獲得較準確的檢測結(jié)果。運用獨特的圖像處理技術(shù)分析由成像模組獲得的有關(guān)外觀、輝度、發(fā)光波長的信息，從而成功研發(fā)了此款可快速檢測micro LED異常的設備。
運用本產(chǎn)品快速檢測micro LED的外觀、輝度、發(fā)光波長并判斷產(chǎn)品的良劣，可以推動研發(fā)效率以提高產(chǎn)品良率。此外，有望在未來的量產(chǎn)產(chǎn)線中有效地進行全數(shù)檢測。
此外，在推進研發(fā)高速檢測micro LED的設備的同時，將與韓國、中國、中國臺灣等地的當?shù)胤ㄈ撕献?，以亞洲地區(qū)為中心擴大銷售。
產(chǎn)品的主要特點
1、可同時高速檢測輝度、發(fā)光波長。
利用PL測量法，不僅可以檢查micro LED的外觀，還可以高速檢測輝度、發(fā)光波長是否有異常。
2、此款新設備使EL檢測法下無法實現(xiàn)的全數(shù)檢測成為可能。
由于EL檢查法需要花費大量時間，因此無法做到全數(shù)檢測micro LED。本系統(tǒng)通過快速地檢測micro LED的外觀、輝度、發(fā)光波長是否有異常，有望實現(xiàn)micro LED高效地全數(shù)檢測。
3、通過在工藝中全數(shù)檢測，提高產(chǎn)品良率。
利用本產(chǎn)品，可以在生產(chǎn)過程中全數(shù)檢測micro LED，以檢測結(jié)果為基礎，改善設計、生產(chǎn)工藝，有望提高產(chǎn)品的良率。
主要規(guī)格
銷售開始時間：2021年3月8日（星期一）
價格（不含稅）：MiNYTM PL Micro LED PL檢測設備 C15740-01， 100百萬日元（約人民幣610萬元）。
目標銷售數(shù)量：最初5臺/年，三年后10臺/年。
MiNYTMPL micro LED PL 檢測設備C15740-01（ 圖片來源：浜松官網(wǎng)）
