芯耀
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作者：暢秋
美國(guó)可能對(duì)韓國(guó)企業(yè)在華晶圓廠用先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備出口網(wǎng)開一面，這會(huì)對(duì)中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)產(chǎn)生怎樣的影響？
美國(guó)對(duì)于出口到中國(guó)大陸的高端半導(dǎo)體產(chǎn)品限制越來越嚴(yán)格，最新的消息是AMD和英偉達(dá)的高端GPU也被列入了清單。不止是芯片級(jí)產(chǎn)品，對(duì)于來自美國(guó)的高端半導(dǎo)體設(shè)備，中國(guó)大陸已經(jīng)難以進(jìn)口新產(chǎn)品，只能考慮其它方法和途徑。
此前，美國(guó)不斷加緊先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備出口到中國(guó)大陸的管制力度，初期鎖定的是以中芯國(guó)際為代表的邏輯芯片晶圓代工廠，特別是用于14nm以下先進(jìn)制程的半導(dǎo)體設(shè)備，受到嚴(yán)格管控。后來又?jǐn)U大了限制范圍，從邏輯芯片延伸到了存儲(chǔ)芯片，據(jù)悉，美國(guó)將對(duì)華禁售制造128層3D NAND閃存所需的設(shè)備，這對(duì)于中國(guó)大陸幾家“國(guó)字號(hào)”的存儲(chǔ)芯片IDM企業(yè)來說是個(gè)不小的挑戰(zhàn)。
不過，近期，美國(guó)似乎對(duì)設(shè)在中國(guó)大陸的一部分晶圓廠開了一道口子，準(zhǔn)許購(gòu)買美國(guó)的先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備，不過，這些晶圓廠不包括中國(guó)本土廠商。據(jù)韓國(guó)媒體報(bào)道，美國(guó)政府對(duì)中國(guó)實(shí)施的半導(dǎo)體設(shè)備出口管制，將豁免韓國(guó)芯片廠商，允許三星電子和SK海力士在中國(guó)大陸晶圓廠進(jìn)口美國(guó)先進(jìn)設(shè)備。據(jù)悉，美國(guó)商務(wù)部直接向韓國(guó)政府解釋，美方針對(duì)14nm以下先進(jìn)制程芯片制造設(shè)備出口管制措施，不會(huì)影響韓國(guó)芯片廠商在中國(guó)大陸的運(yùn)營(yíng)。
韓國(guó)成為主角
最近，美國(guó)一直在推動(dòng)其與日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣組成“芯片四方聯(lián)盟”（Chip 4），日本是美國(guó)的死黨，為其馬首是瞻，而韓國(guó)的狀況和態(tài)度越來越受到關(guān)注，相對(duì)于日本，韓國(guó)對(duì)加入Chip 4有更多顧慮，主要原因在于其對(duì)中國(guó)大陸的半導(dǎo)體產(chǎn)品出口依賴度很高，不得不考慮中國(guó)的感受及其在中國(guó)市場(chǎng)的巨大商業(yè)利益。
韓國(guó)約有6成半導(dǎo)體產(chǎn)品出口到中國(guó)（含香港），2021年，韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)品對(duì)中國(guó)出口金額達(dá)768億美元。韓國(guó)工商會(huì)的數(shù)據(jù)顯示，2021年，在韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)品出口總額中，有39.7%來自中國(guó)，而在2000年，這一比例僅為3.2%，可見其半導(dǎo)體業(yè)對(duì)中國(guó)依賴度之高，且呈現(xiàn)出較為快速的發(fā)展態(tài)勢(shì)，未來，這一比例還將上升。除半導(dǎo)體外，韓國(guó)出口到中國(guó)的其它技術(shù)密集型行業(yè)產(chǎn)品（如精密機(jī)械和顯示器）的量也在增長(zhǎng)。
作為韓國(guó)半導(dǎo)體業(yè)的兩大龍頭企業(yè)，三星電子和SK海力士對(duì)中國(guó)大陸的依賴度很高，這兩家在中國(guó)大陸的晶圓廠規(guī)模，僅次于它們?cè)陧n國(guó)本土的。這些晶圓廠主要生產(chǎn)NAND Flash、DRAM芯片和模組。三星電子在西安和蘇州建有兩座NAND Flash芯片工廠，SK海力士則在無錫、重慶和大連建有生產(chǎn)線。
三星電子西安NAND Flash工廠是其唯一的海外閃存廠，預(yù)計(jì)總投資為70 億美元，但在一期項(xiàng)目擴(kuò)建后，整體投資金額達(dá)到了108.7 億美元。今年4月，三星電子在西安擴(kuò)建的NAND Flash工廠全面投產(chǎn)。
三星電子西安NAND Flash第二工廠每月可加工13萬片12英寸晶圓，比第一工廠每月高出1萬片。這也使得三星電子在西安生產(chǎn)的NAND Flash產(chǎn)量達(dá)到了25萬片/月，在目前三星電子全球NAND Flash總產(chǎn)量中的占比達(dá)到了40%以上，同時(shí)在全球所有NAND Flash廠商總產(chǎn)能中的占比也達(dá)到了10%。
基于以上巨大商業(yè)利益，韓國(guó)政府對(duì)于加入Chip 4非常謹(jǐn)慎。據(jù)韓聯(lián)社報(bào)道，8月，韓國(guó)副總理兼企劃財(cái)政部長(zhǎng)與中國(guó)發(fā)改委主任舉行了第17屆韓中經(jīng)濟(jì)部長(zhǎng)會(huì)議，首度就深化供應(yīng)鏈合作達(dá)成共識(shí)，同時(shí)決定新設(shè)協(xié)調(diào)磋商機(jī)制，透過此舉，韓國(guó)將確保在供應(yīng)鏈不穩(wěn)定時(shí)，保持與中國(guó)溝通。該磋商機(jī)制可預(yù)防供應(yīng)鏈中可能出現(xiàn)的各種誤會(huì)，而且，即使出了問題，也能夠迅速投入磋商解決機(jī)制。
韓國(guó)業(yè)界及相關(guān)學(xué)者認(rèn)為，加入Chip 4是不可避免的結(jié)果，參與各方可能制定相關(guān)規(guī)范，以取得行業(yè)優(yōu)勢(shì)，其中，美國(guó)擁有多數(shù)半導(dǎo)體技術(shù)，韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)線所用設(shè)備也多依賴美國(guó)、日本，若美國(guó)實(shí)施出口限制，可能從根本上影響韓國(guó)生產(chǎn)，同時(shí)，若失去中國(guó)市場(chǎng)，韓國(guó)與美國(guó)談判籌碼將更有限。
韓國(guó)半導(dǎo)體業(yè)與美國(guó)的聯(lián)系也越來越緊密，除了依賴美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備之外，三星電子和SK海力士也在美國(guó)擴(kuò)建晶圓廠。
目前，三星電子正在德克薩斯州泰勒市建造一家價(jià)值170億美元的晶圓廠。此外，有消息稱，未來20年，三星電子可能投資近2000億美元，在美國(guó)德克薩斯州建11座新晶圓廠，其中，兩家工廠可能分布在德州首府奧斯汀，其余9家可能在德州的泰勒。不過，這一消息還未得到官方證實(shí)。SK集團(tuán)則計(jì)劃在美國(guó)投資220億美元，其中150億用于半導(dǎo)體項(xiàng)目，據(jù)悉是要建設(shè)一座先進(jìn)的芯片封裝廠，于2023年第一季度破土動(dòng)工。預(yù)計(jì)三星電子和SK集團(tuán)的項(xiàng)目都將獲得美國(guó)政府的半導(dǎo)體優(yōu)惠政策和補(bǔ)貼。
不過，美國(guó)CHIPS法案禁止獲得美國(guó)政府補(bǔ)貼的公司在中國(guó)大陸建造涉及先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)的晶圓廠，而三星電子和SK海力士都在中國(guó)設(shè)有存儲(chǔ)芯片廠，且新擴(kuò)建的產(chǎn)能要生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片。正因如此，為了讓韓國(guó)更安心地加入Chip 4，美國(guó)才開了一道口子，準(zhǔn)許韓國(guó)這兩家芯片大廠購(gòu)買美國(guó)的先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備，用于它們位于中國(guó)大陸新產(chǎn)能的擴(kuò)充。
會(huì)引發(fā)連鎖反應(yīng)？
在購(gòu)買先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備方面，美國(guó)對(duì)韓國(guó)在華晶圓廠的網(wǎng)開一面，對(duì)于各方都是個(gè)不錯(cuò)的消息。
首先，直接受益的就是三星電子和SK海力士，這兩家在中國(guó)大陸的存儲(chǔ)芯片產(chǎn)量非常大，且正在向先進(jìn)制程工藝演進(jìn)，若沒有相應(yīng)的先進(jìn)設(shè)備，場(chǎng)面會(huì)非常尷尬，顯然，美國(guó)也不想看到其主要盟友陷入窘境。
其次，對(duì)于美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商而言，可以拓展本來就應(yīng)該正常進(jìn)行的先進(jìn)設(shè)備生意版圖。顯然，對(duì)華禁售先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備不符合美國(guó)相關(guān)企業(yè)的利益，美國(guó)是半導(dǎo)體設(shè)備頭號(hào)強(qiáng)國(guó)，美國(guó)設(shè)備廠商的在華利益是最多的。如果對(duì)華禁售，受損最大的是AMAT、LAM、KLA等公司。
再有，對(duì)于中國(guó)大陸地區(qū)所有晶圓廠而言，對(duì)獲得先進(jìn)設(shè)備有了更加樂觀的預(yù)期。
另外，關(guān)于對(duì)華政策，歐洲和日本一直都跟隨美國(guó)的步伐，此次，美國(guó)首先對(duì)中國(guó)大陸非本土企業(yè)晶圓廠用先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備開綠燈，客觀上會(huì)起到一定的示范作用，對(duì)于歐洲和日本先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入中國(guó)大陸晶圓廠有了樂觀的預(yù)期。
歐洲方面，荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML一直想進(jìn)一步提升其在中國(guó)大陸的業(yè)務(wù)水平，但近些年美國(guó)一直希望該公司不要向中國(guó)大陸出口先進(jìn)光刻機(jī)，特別是EUV設(shè)備，ASML已經(jīng)停止發(fā)貨，在此基礎(chǔ)上，美國(guó)希望該公司進(jìn)一步限制DUV設(shè)備對(duì)華出口，這引起了ASML的不滿，今年7月，該公司CEO溫彼得（Peter Wennink）表示，“我認(rèn)為我們需要認(rèn)識(shí)到，中國(guó)大陸是半導(dǎo)體行業(yè)的重要參與者，尤其是在成熟制程和主流半導(dǎo)體領(lǐng)域，中國(guó)大陸是全球市場(chǎng)非常重要的供應(yīng)商，所以我們必須小心行事。”目前，荷蘭政府并未限制ASML對(duì)華出口DUV。2022年一季度，ASML有34%的營(yíng)收來自中國(guó)大陸。
今年8月，日本最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商?hào)|京電子（TEL）財(cái)務(wù)部總經(jīng)理 Hiroshi Kawamoto說：“中國(guó)大陸是一個(gè)非常重要的市場(chǎng)，占我們銷售額的四分之一以上，我們認(rèn)為中國(guó)大陸市場(chǎng)將繼續(xù)增長(zhǎng)。”他坦言，東京電子非常擔(dān)心美國(guó)擴(kuò)大對(duì)中國(guó)的高科技出口管制，因?yàn)橹袊?guó)是這家日本半導(dǎo)體設(shè)備巨頭的關(guān)鍵市場(chǎng)。
受疫情影響，2022年第二季度，東京電子來自中國(guó)大陸的營(yíng)收大幅下滑39%，在主要市場(chǎng)中降幅最大，不過，Hiroshi Kawamoto表示，對(duì)中國(guó)大陸的發(fā)貨正在恢復(fù)，東京電子有信心在今年第三季度彌補(bǔ)4-6月的空缺，整個(gè)財(cái)年（2022年4月-2023年3月）的業(yè)績(jī)預(yù)期維持不變。
可見，作為歐洲、日本最大的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，ASML、東京電子在中國(guó)大陸市場(chǎng)的營(yíng)收占比很高，且對(duì)未來發(fā)展都有很高的期待，同時(shí)，它們都對(duì)美國(guó)的對(duì)華出口限制政策感到擔(dān)憂，并不希望看到目前的局面進(jìn)一步惡化。此次，美國(guó)對(duì)于韓國(guó)在華晶圓廠進(jìn)口先進(jìn)設(shè)備的放行，對(duì)于歐洲和日本半導(dǎo)體設(shè)備大廠來說，無疑是個(gè)積極信號(hào)，這將更有利于在華晶圓廠獲得更多、更好的先進(jìn)設(shè)備，雖然不一定是中國(guó)本土企業(yè)，但就整個(gè)中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)而言，作用是正向的。
利好or利空國(guó)產(chǎn)先進(jìn)設(shè)備研發(fā)？
近些年，由于受到美國(guó)打壓，無法獲得高端芯片和半導(dǎo)體設(shè)備，給中國(guó)大陸的電子半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來了不小沖擊，同時(shí)也逼迫國(guó)產(chǎn)芯片和設(shè)備自立自強(qiáng)。
近兩年，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備利用率越來越高。據(jù)德邦證券統(tǒng)計(jì)，今年4月，在各家晶圓廠采購(gòu)名單上，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)數(shù)量為67臺(tái)，中標(biāo)率高達(dá)62%，十分罕見。北方華創(chuàng)、中微公司、屹唐、芯源微等中標(biāo)設(shè)備數(shù)量居前。今年1~4月開標(biāo)的401臺(tái)設(shè)備中，源自中國(guó)大陸廠商的共計(jì)97臺(tái)，占比達(dá)24.2%。其中，干法去膠設(shè)備國(guó)產(chǎn)率高達(dá)71%，刻蝕設(shè)備國(guó)產(chǎn)化占比超過一半。綜合來看，國(guó)內(nèi)廠家在刻蝕、清洗、干法去膠、涂膠顯影等設(shè)備環(huán)節(jié)話語權(quán)提升，有的環(huán)節(jié)甚至成為主要設(shè)備供應(yīng)商。更重要的是，內(nèi)資晶圓廠對(duì)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證的導(dǎo)入期顯著縮短，以前是1~3年，現(xiàn)在，有的產(chǎn)品只需要6個(gè)月。
這就是國(guó)外對(duì)華限制的結(jié)果，逼迫國(guó)產(chǎn)設(shè)備快速成長(zhǎng)，同時(shí)，本土晶圓廠也愿意給國(guó)產(chǎn)設(shè)備更多的試錯(cuò)和成長(zhǎng)空間。不過，目前階段，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備大都聚集在中低端產(chǎn)品領(lǐng)域，能夠?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)的中高端設(shè)備鳳毛麟角，在美國(guó)的打壓和限制下，很多本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商都在摩拳擦掌，在先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)方面不斷加大投入。
然而，此次，美國(guó)對(duì)于韓國(guó)在華晶圓廠用先進(jìn)設(shè)備出口網(wǎng)開一面，釋放出的信號(hào)，對(duì)于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備，特別是中高端設(shè)備的研發(fā)來說，會(huì)產(chǎn)生怎樣的影響呢？美國(guó)的政策一向是有打擊，有拉攏，有張也有弛，雖然此次只針對(duì)韓國(guó)在華晶圓廠，中國(guó)內(nèi)資晶圓廠依然無法從美國(guó)進(jìn)口先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備，但這樣的口子一開，難免會(huì)在市場(chǎng)產(chǎn)生更多的運(yùn)作空間，這在一定程度上對(duì)于國(guó)產(chǎn)中高端設(shè)備的研發(fā)而言，是有一定利空影響的，而且，如前文所述，如果今后美日歐相關(guān)限制進(jìn)一步放松的話，利空影響恐怕會(huì)更多。希望本土廠商在中高端半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)方面能一直保持沖勁兒，不受這些因素干擾，早日實(shí)現(xiàn)中高端設(shè)備替代。
