真空度傳感器是一種用于檢測(cè)真空環(huán)境下壓力和真空度的儀器。它可以被廣泛應(yīng)用于許多領(lǐng)域,如電子、航空航天、光學(xué)、化學(xué)等。該傳感器可以精確地測(cè)量低到10-12 托的絕對(duì)壓力,并且可在極端惡劣的條件下保持高準(zhǔn)確性。
1.什么是真空度傳感器
真空度傳感器是一種用于測(cè)量真空環(huán)境中氣體壓力和真空度的設(shè)備。它通常由壓敏元件、轉(zhuǎn)換器以及顯示和控制部件組成。當(dāng)真空環(huán)境中的氣壓改變時(shí),其壓敏元件會(huì)受到相應(yīng)的機(jī)械應(yīng)力,這將隨后引起其電阻或電容值的變化。轉(zhuǎn)換器可以將這些信號(hào)進(jìn)行處理并轉(zhuǎn)換為數(shù)字、模擬或其他形式,從而使用戶(hù)能夠掌握真空度的情況。
2.真空度傳感器原理
真空度傳感器的工作原理基于壓力傳感技術(shù)。當(dāng)真空環(huán)境中存在氣體分子時(shí),它們與壓敏元件表面發(fā)生碰撞,從而在元件上產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力。這個(gè)機(jī)械應(yīng)力通過(guò)聯(lián)通電纜傳遞給轉(zhuǎn)換器,然后轉(zhuǎn)換器會(huì)將其轉(zhuǎn)換為數(shù)字、模擬或其他形式的信號(hào),以便測(cè)量和監(jiān)控真空度。
3.真空度傳感器作用
真空度傳感器可以被廣泛應(yīng)用于許多領(lǐng)域中。例如,在電子工業(yè)中常用于真空管、半導(dǎo)體加工和高精度磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器等領(lǐng)域。在航天航空領(lǐng)域中,真空度傳感器可用于檢測(cè)火箭推進(jìn)器、衛(wèi)星軌道和太空探索器的真空情況。此外,該傳感器還可以在化學(xué)反應(yīng)、材料科學(xué)以及核物理實(shí)驗(yàn)中應(yīng)用。