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  • 二手東京電子 CELESTA 晶圓清洗花籃及晶圓清洗系統(tǒng)
    摘要：本文圍繞二手東京電子 CELESTA 晶圓清洗花籃及晶圓清洗系統(tǒng)展開研究，介紹了清洗花籃的結構特點、材料性能及在清洗流程中的作用，同時闡述了晶圓清洗系統(tǒng)的整體架構、工作原理，分析二者協(xié)同運作對晶圓清洗質量和效率的影響，為合理利用二手設備資源提供技術參考。 一、引言 在半導體晶圓制造過程中，晶圓清洗是不可或缺的重要環(huán)節(jié)。二手東京電子 CELESTA 設備憑借性價比優(yōu)勢，受到眾多企業(yè)和科研機構青

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