AFM

• Park Systems擴(kuò)展FX大型樣品AFM產(chǎn)品線

  /美通社/ -- 全球原子力顯微鏡（AFM）領(lǐng)軍企業(yè)Park Systems在2025年韓國半導(dǎo)體展覽會上推出了擴(kuò)展版FX大型樣品AFM系列產(chǎn)品。 繼Park FX200在2024年西部半導(dǎo)體展覽會（SEMICON West）首次亮相并隨后在德國、日本和韓國市場獲得強(qiáng)烈反響之后，Park Systems又推出了用于300毫米晶圓分析的Park FX300，以及集成了紅外（IR）光譜技術(shù)的Park

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  02/20 08:31

  半導(dǎo)體 晶圓制造

  
• 為什么器件失效分析需要AFM機(jī)臺？

  失效分析是確保集成電路和微電子器件可靠性、優(yōu)化制造工藝的重要環(huán)節(jié)。隨著技術(shù)的進(jìn)步，特別是進(jìn)入5nm、7nm等先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)后，器件失效模式變得更為復(fù)雜，要求我們使用各種高精度的分析工具進(jìn)行失效定位和機(jī)理分析。原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope，簡稱AFM）就是其中一種重要的分析工具。

  老虎說芯

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  2024/10/08

  半導(dǎo)體工藝 AFM

  

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