芯耀
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迷思科技在展會(huì)訪(fǎng)談中介紹了其特有的微創(chuàng)手術(shù)的工藝，微創(chuàng)手術(shù)本來(lái)的含義是在人體的體表開(kāi)一個(gè)很小的創(chuàng)口，然后通過(guò)導(dǎo)管把醫(yī)療器械深入到人體的內(nèi)部進(jìn)行手術(shù)，然后手術(shù)完之后再取出來(lái)，這樣的話(huà)人體創(chuàng)口縫合比較方便，恢復(fù)期也比較短。我們是在硅片的正面先開(kāi)一些很小的微孔，然后讓腐蝕溶液從這個(gè)微孔進(jìn)入到硅片內(nèi)部，掏出一個(gè)比較大的腔體來(lái)，然后再把這個(gè)微孔進(jìn)行封堵，就像那個(gè)醫(yī)學(xué)上的縫合窗口一樣。封堵好之后，在芯片內(nèi)部形成了一個(gè)真空腔，在這個(gè)真空腔的基礎(chǔ)上再形成壓力傳感器。
迷思科技總經(jīng)理倪藻介紹：“相對(duì)于以前的傳統(tǒng)工藝來(lái)比的話(huà)，迷思科技的壓力傳感器的薄膜可以做到非常薄，可以精準(zhǔn)控制。對(duì)于壓力傳感器來(lái)說(shuō)，膜做得薄了就意味著芯片可以同步往下縮小。迷思科技的壓力傳感器的膜可以達(dá)到五六微米，我們最新的技術(shù)TUB功能甚至可以控制到2微米左右，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于同行的一般的十幾微米的模厚，所以我們的芯片面積也要遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于同行。”
“壓力傳感器是汽車(chē)領(lǐng)域傳感器中產(chǎn)值最高的一個(gè)品類(lèi)，迷思科技已經(jīng)在BPS、按摩座椅等方向進(jìn)行布局。另外，公司的壓力傳感器憑借其尺寸小的特征，特別適用在測(cè)顱內(nèi)壓、脈象信息提取等醫(yī)療領(lǐng)域?！蹦咴逖a(bǔ)充道。
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