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晶圓廠為什么常用IPA而不用酒精?

6小時前
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知識星球(星球名:芯片制造與封測技術(shù)社區(qū),點擊加入)里的學(xué)員問:在12吋/8吋 fab中,是嚴(yán)禁使用乙醇酒精做主清洗劑的,為什么?

IPA在晶圓廠中的應(yīng)用?IPA是異丙醇,主要用于晶圓清洗,刻蝕,設(shè)備裝機,PM等。幾乎出現(xiàn)在晶圓廠各個區(qū)域中。

異丙醇與酒精的性質(zhì)對比?

項目 IPA(異丙醇) 乙醇(Ethanol)
化學(xué)式 C?H?O C?H?O
極性 中等極性 極性較強
沸點 82.6°C 78.4°C
溶解性 與水、醇、酮類完全互溶 同樣與水、醇類互溶
氣味 刺鼻 相對溫和
揮發(fā)速度 稍慢于乙醇 稍快于IPA
吸水性 更強
干燥性(殘留水能力) 更容易置換水分 殘留水更多、干燥性差一些

為什么用IPA不用酒精?

1,SEMI G5 級 IPA 的純度水平通常超過 99.9999%(六個九的純度),而乙醇幾乎無法從共沸物中提取完全無水狀態(tài),常為“分析純/試劑級”,天生難達(dá)晶圓級的超凈標(biāo)準(zhǔn)

2,IPA揮發(fā)速度適中,能在表面均勻蒸發(fā),不易形成“干斑”或水痕;與 DI水形成 azeotrope(共沸物),適合 Marangoni 干燥。

3,IPA的極性比乙醇略低,有機溶劑(NMP,ACE等)、光刻膠殘留等相容性更好。

那酒精真的不能用嗎?并非絕對不能用,但通常在以下情況中才會用到:低端或?qū)嶒炗貌A骶咔逑矗?/strong>

實驗室級封裝前初步擦拭;

PCB行業(yè);

需要臨時清洗但不要求電子級純度的情況。

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