TGV(Through Glass Via)工藝之所以選擇在玻璃上打孔,主要是因為玻璃在以下五個方面相較于硅具有獨特優(yōu)勢。
1.?低電損
優(yōu)勢:
玻璃具有優(yōu)異的電絕緣性;
結果:
提升信號隔離;
降低系統(tǒng)功耗;
2.熱膨脹系數可調節(jié)
優(yōu)勢:
玻璃可以通過成分調整實現多種CTE;
更易匹配硅芯片;
結果:
提升封裝可靠性;
在作為載板/中介層時可避免熱應力失配引發(fā)的翹曲或裂紋。
3.表面光滑,利于精細線寬
優(yōu)勢:
玻璃具有原生光滑表面,無需復雜拋光;
更適合微細線/窄間距布線;
結果:
支持更小封裝尺寸;
金屬層更少 → 降低布線層數與制造成本。
4.?剛性好、平整度高
優(yōu)勢:
相比有機材料(如FRP),玻璃剛性更大;
不易變形,具有出色的平整度;
結果:
支持高精度圖形和細線路布線;
保持TGV加工時的一致性和垂直性。
5.?適合直接成型
優(yōu)勢:
可直接以目標厚度做出成品;
無需后續(xù)研磨拋光;
結果:
良率更高、成本更低;
在大面板級封裝(panel-level packaging)中更具效率和優(yōu)勢。
TGV工藝非常適合下一代高頻、高密度、低功耗封裝需求,特別在2.5D/3D IC中介層和面板級封裝(PLP)中應用前景廣闊。
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