圓形電連接器

• 用于切割晶圓 TTV 控制的硅棒安裝機構

  摘要：本文針對晶圓切割過程中 TTV（總厚度偏差）控制難題，提出一種用于切割晶圓 TTV 控制的硅棒安裝機構。詳細介紹該機構的結構設計、工作原理及其在控制 TTV 方面的技術優(yōu)勢，為提升晶圓切割質(zhì)量提供新的設備方案 。 一、引言 在晶圓制造過程中，切割環(huán)節(jié)對晶圓 TTV 有著重要影響。精確控制晶圓 TTV 是保障芯片性能和良品率的關鍵因素。傳統(tǒng)硅棒安裝方式在切割過程中，因硅棒固定不穩(wěn)定、定位精度低

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