石英在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術(shù)社區(qū)，星球號：63559049）里的學(xué)員問：為什么爐管設(shè)備中常用石英部件，除了爐管，還有哪些應(yīng)用？

石英的性質(zhì)？

1，熱膨脹系數(shù)低，在溫度變化時，石英的體積變化極小。

2，純度高，低端w(SiO2)≥99.9%(3N)，中端w(SiO2)≥99.99%(4N)，中高端w(SiO2)≥99.995%(4N5)，高端w(SiO2)≥99.998%(4N8)

3，耐高溫，在高溫環(huán)境下使用而不容易變形或破裂

4，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不輕易與酸堿等發(fā)生反應(yīng)5，極好的絕緣性6，透光性佳，機械強度好

石英的加工過程

石英礦==》石英砂==》石英的管，棒，碇==》石英件

其中石英砂來源于三種途徑：1，天然石英 2，水晶石? 3，人造石英

石英在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用

在外延、光刻、擴散、氧化、清洗、CVD、RTP、PVD、Etch等工藝制程中都將用到石英部件。

主要有：

1，石英爐管，是晶圓進(jìn)行高溫加熱過程的區(qū)域

2，石英晶舟

3，石英環(huán)

4，石英花籃

5，石英坩堝

等等

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