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電鍍機(jī)的陽(yáng)極是什么材質(zhì)?

06/04 14:38
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知識(shí)星球(星球名:芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū),點(diǎn)擊加入)里的學(xué)員問(wèn):電鍍的陽(yáng)極有什么講究?什么是可溶性陽(yáng)極和非可溶性陽(yáng)極?什么是可溶性陽(yáng)極與非可溶性陽(yáng)極?

可溶性陽(yáng)極陽(yáng)極本身就是被電鍍的金屬材料,在電鍍過(guò)程中會(huì)發(fā)生氧化反應(yīng)而溶解,為電解液持續(xù)補(bǔ)充金屬離子。

電流通過(guò)后:

陰極晶圓)發(fā)生金屬離子還原 → 金屬沉積

陽(yáng)極發(fā)生金屬氧化反應(yīng) → 金屬原子進(jìn)入電解液成為離子

不可溶性陽(yáng)極陽(yáng)極采用不參與電化學(xué)反應(yīng)的惰性材料,僅起導(dǎo)電作用。金屬離子完全來(lái)自電鍍液中預(yù)添加的金屬鹽。工作原理

陰極:金屬離子還原沉積

陽(yáng)極:水或其他離子發(fā)生氧化(如放出氧氣),陽(yáng)極不溶解

陽(yáng)極的材質(zhì)有哪些?可溶性陽(yáng)極:

電鍍類型 常用陽(yáng)極材質(zhì)
銅電鍍 磷銅陽(yáng)極(Cu-P),含0.04%~0.08%磷,可防止陽(yáng)極泥生成,提高穩(wěn)定性
鎳電鍍 電解鎳板或球狀鎳(高純度Ni)
金電鍍 金板或金絲,較少使用,成本高
錫電鍍 錫條或Sn合金

不可溶性陽(yáng)極:

材料常見(jiàn)選擇 適用場(chǎng)景
鉑涂層鈦網(wǎng)(Pt/Ti) 貴金屬電鍍(如金、銠)
銥鉭涂層鈦(Ir-Ta/Ti) 穩(wěn)定性高,適用于酸性鍍液
石墨 鎳、鋅等電鍍中有時(shí)也會(huì)使用,成本低
不銹鋼 某些實(shí)驗(yàn)室電鍍工藝或特殊研究用途

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