芯耀
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作者：鵬程
在全球科技競爭白熱化的當(dāng)下，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已然成為國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的核心支柱，深刻影響著電子信息、人工智能、汽車制造等眾多領(lǐng)域的發(fā)展進程。而半導(dǎo)體設(shè)備零部件作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“基石”，其技術(shù)水平與供應(yīng)穩(wěn)定性，不僅決定著半導(dǎo)體設(shè)備的性能與質(zhì)量，更關(guān)乎整個產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控與國際競爭力。
近年來，隨著半導(dǎo)體市場需求激增、國產(chǎn)化進程加速推進，半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)迎來了前所未有的發(fā)展機遇，資金涌入、市場擴張、企業(yè)出海等現(xiàn)象頻現(xiàn)，展現(xiàn)出蓬勃的發(fā)展態(tài)勢。
?01、半導(dǎo)體設(shè)備零部件是半導(dǎo)體設(shè)備的核心部分
半導(dǎo)體設(shè)備零部件作為半導(dǎo)體設(shè)備的核心構(gòu)成部分，其重要性不言而喻。半導(dǎo)體設(shè)備由眾多零部件組合而成，這些零部件的性能、質(zhì)量與精度，直接決定著設(shè)備運行的可靠性與穩(wěn)定性。因此，半導(dǎo)體設(shè)備零部件必須在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、品質(zhì)精度、可靠性及穩(wěn)定性等方面，精準(zhǔn)契合半導(dǎo)體設(shè)備及其技術(shù)要求，堪稱半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的堅實基石。常見的半導(dǎo)體零部件涵蓋密封圈（O-Ring）、傳送模塊（EFEM）、射頻電源（RF Generator）、靜電吸盤（ESC）、硅環(huán)等結(jié)構(gòu)件（Si）、真空泵（Pump）、氣體流量計（MFC）、噴淋頭（Shower Head）等。
從功能維度劃分，半導(dǎo)體零部件可大致歸類為機械加工件類、物料傳送類、電氣類、真空類、氣液輸送類、光學(xué)類、熱管理類、儀器儀表類等；若以標(biāo)準(zhǔn)化程度為依據(jù)，則可分為精密機加件與通用外購件。其中，精密機加件屬于定制化產(chǎn)品，通常由設(shè)備廠商自行設(shè)計后委托外部企業(yè)加工生產(chǎn)，像腔體、機械手等，此類產(chǎn)品生產(chǎn)難度相對較低；通用外購件則是經(jīng)過長期實踐驗證、獲得廣泛認可的通用標(biāo)準(zhǔn)品，例如閥門、密封圈（O-Ring）、規(guī)（Gauge）、泵、噴淋頭等。由于這類產(chǎn)品需要通過設(shè)備廠商與制造產(chǎn)線的雙重認證，因而存在較高的技術(shù)壁壘。
機械加工類零部件包含石英制品、陶瓷制品、腔體和拋光類等，不同類別在應(yīng)用場景與技術(shù)攻關(guān)方面各具特點。以?ESC 靜電吸盤為例，在半導(dǎo)體制造過程中，它主要承擔(dān)固定晶圓的關(guān)鍵任務(wù)。該部件以氧化鋁陶瓷或氮化鋁陶瓷作為主體材料，并添加其他導(dǎo)電物質(zhì)，以此滿足整體電阻率的功能性要求。這不僅對陶瓷材料的導(dǎo)熱性、耐磨性及硬度提出了嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)，還要求陶瓷內(nèi)部加工構(gòu)造具備極高精度，同時陶瓷層與金屬底座的結(jié)合必須達到均勻性與高強度的雙重要求。
物料傳送類零部件主要有機械手臂、EFEM、軸承、精密軌道、步進馬達等。機械手臂在半導(dǎo)體設(shè)備中扮演著物料搬運的重要角色，能夠在集群工具和線性配置的工藝模塊之間，安全、高效地同時傳輸單個或多個晶圓。鑒于晶圓硅晶片極易受到顆粒污染，搬運操作通常需在真空環(huán)境下進行。在這種特殊環(huán)境中，多數(shù)常規(guī)材料制成的機械手臂難以正常工作，因此制作機械手臂的材料必須具備耐高溫、耐磨且硬度高的特性。
電氣類零部件涵蓋可編程控制器、傳感器、發(fā)生器、射頻電源以及供電系統(tǒng)等，廣泛應(yīng)用于刻蝕、清洗、CMP 拋光等半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)。其中，可編程控制器通過數(shù)字式或模擬式的輸入輸出方式，實現(xiàn)對各類機械設(shè)備或生產(chǎn)過程的精準(zhǔn)控制；射頻電源作為射頻電路或射頻設(shè)備的動力來源，要求供電平穩(wěn)且瞬間供電能力強勁；傳感器包含壓力傳感器、溫度傳感器等多種類型；發(fā)生器則包括臭氧發(fā)生器、CO2 混合發(fā)生器、氫氣發(fā)生器、兆聲波發(fā)生器等。
真空類零部件主要有真空泵、真空閥、真空規(guī)、高真空壓力計以及氣體流量計，主要應(yīng)用于刻蝕、清洗以及對環(huán)境清潔度要求極高的?PVD 工藝。在技術(shù)層面，真空泵的研發(fā)難點集中在氣體動力學(xué)設(shè)計、材料選擇、微米級精密加工、表面處理以及精密裝配等方面；真空閥的技術(shù)挑戰(zhàn)在于對材料等級要求高，需具備優(yōu)異的耐磨抗腐蝕性能；真空規(guī)的難點在于測量工藝要求高且型號繁多；高真空壓力計則面臨測量超高真空工藝環(huán)境壓力以及特殊形制設(shè)計的難題。
氣液輸送類零部件包括氣柜、氣體流量計、氣體控制模塊、傳輸閥門、電磁閥以及過濾器。氣柜主要用于貯存各類工業(yè)氣體，并平衡氣體需求的不均勻性，可分為低壓氣柜和高壓氣柜，在刻蝕、CMP 工藝中發(fā)揮重要作用；氣體流量計作為氣體流速測量與控制的關(guān)鍵部件，要求具備響應(yīng)速度快、精確度高、穩(wěn)定性好、耐腐蝕性強、使用壽命長等特性；過濾器由筒體、不銹鋼濾網(wǎng)、排污部分、傳動裝置及電氣控制部分構(gòu)成，根據(jù)獲得過濾推動力的方式不同，可分為重力過濾器、真空過濾器和加壓過濾器三類。
光學(xué)類零部件在光學(xué)設(shè)備中承擔(dān)著控制和傳輸光源的核心功能，對光學(xué)性能要求極高，主要包括光學(xué)元件、光柵、激光源、物鏡等，廣泛應(yīng)用于光刻機、量測設(shè)備等。
熱管理類零部件則專注于半導(dǎo)體設(shè)備的溫度管理與控制，包含熱電組件、熱電溫度控制器等。熱電模塊作為板狀半導(dǎo)體冷卻裝置，利用電流流過兩種不同金屬結(jié)點時產(chǎn)生的熱量實現(xiàn)工作，具有結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕的特點，在汽車溫度控制座椅、冷卻器、光通信、生物技術(shù)、空調(diào)及各類消費電子產(chǎn)品中均有應(yīng)用。每個熱電系統(tǒng)都需要專門的溫度控制器進行管理，由于大多數(shù)現(xiàn)有溫度控制解決方案難以滿足熱電模塊的特殊需求，因此專為其設(shè)計的溫度控制器應(yīng)運而生。
02、半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)績激增，國產(chǎn)零部件需求爆發(fā)
自?2024 年起，消費電子等終端市場需求持續(xù)回暖，疊加 AI、汽車電子等新興領(lǐng)域的技術(shù)革新驅(qū)動，半導(dǎo)體行業(yè)呈現(xiàn)出明顯的周期復(fù)蘇態(tài)勢。行業(yè)需求的回升促使全球晶圓廠紛紛加大擴產(chǎn)力度，進而帶動半導(dǎo)體設(shè)備支出顯著增長。
國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）發(fā)布的《全球半導(dǎo)體設(shè)備市場統(tǒng)計報告（WWSEMS）》顯示，2024 年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售額預(yù)計達到 1170 億美元，較 2023 年的 1063 億美元增長 10%。而在近期發(fā)布的《全球半導(dǎo)體設(shè)備市場報告》中，SEMI 進一步指出，2025 年第一季度全球半導(dǎo)體設(shè)備出貨金額同比增長 21%，高達 320.5 億美元。
此外，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速向中國大陸轉(zhuǎn)移，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商迎來了快速發(fā)展的黃金時期。今年一季度，北方華創(chuàng)實現(xiàn)營收?82.06 億元，同比增長 37.9%；凈利潤達 15.81 億元，同比增長 38.8%，且預(yù)計凈利潤率仍有提升空間。中微公司第一季度收入同比增長 35.40%，達到 21.73 億元；盛美上海第一季度收入 13 億元，同比增長 42%，凈利潤更是實現(xiàn)了 207.21% 的大幅增長，達到 2.46 億元。
國內(nèi)半導(dǎo)體制造產(chǎn)能的不斷擴張，有力推動了半導(dǎo)體設(shè)備廠商的迅速崛起。下游市場的蓬勃發(fā)展，使得上游本地化配套需求愈發(fā)迫切，半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場由此進入高速發(fā)展階段。原因主要有三方面：
首先，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備零部件廠商已經(jīng)在某些技術(shù)壁壘相對較低的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了一定的國產(chǎn)化，并成功進入國際供應(yīng)鏈。在市場增長的大背景下，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場的持續(xù)增長帶動了相關(guān)企業(yè)海外客戶的訂單。
其次，隨著國內(nèi)晶圓廠產(chǎn)能的高速擴張，設(shè)備在高強度生產(chǎn)過程中易損零部件的替換需求激增。大陸晶圓產(chǎn)能的持續(xù)增加，進一步推動半導(dǎo)體設(shè)備零部件采購金額的攀升，并將繼續(xù)創(chuàng)造可觀的市場需求。
最后，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)水平的突破，為相應(yīng)的零部件需求提供了增長機會。同時，國產(chǎn)化能力的提高也在降低對外部的依賴，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的崛起正在形成國內(nèi)廠商在技術(shù)與市場上的雙重提升，從而構(gòu)建新的產(chǎn)業(yè)格局。
03、資本青睞半導(dǎo)體設(shè)備零部件
從產(chǎn)業(yè)鏈重要性和市場規(guī)模來看，半導(dǎo)體設(shè)備零部件的各個大類領(lǐng)域，未來都有望孕育出一到兩家上市公司。并且，其市場應(yīng)用范圍不僅局限于半導(dǎo)體行業(yè)，高精密制造和高潔凈制造領(lǐng)域同樣是重要的目標(biāo)市場。這一廣闊的發(fā)展前景，使得相關(guān)廠商成為資本追逐的焦點。
近年來，半導(dǎo)體設(shè)備零部件領(lǐng)域迎來了上市與融資的熱潮。富創(chuàng)精密、先鋒精科成功登陸科創(chuàng)板；恒運昌啟動?IPO 申報，托倫斯和成都超純進入 IPO 輔導(dǎo)階段；此外，還有數(shù)十家創(chuàng)業(yè)企業(yè)獲得融資。
近期，半導(dǎo)體設(shè)備零部件供應(yīng)商藍動精密完成?A + 輪數(shù)千萬元融資，本輪投資方為弘暉基金、毅達資本。藍動精密成立于 2023 年，專注于半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)化關(guān)鍵零部件的研發(fā)與生產(chǎn)，已實現(xiàn)技術(shù)突破并擁有近 30 項知識產(chǎn)權(quán)。
成立于?2021 年的納斯凱也獲得新一輪融資，由毅達資本領(lǐng)投。該企業(yè)致力于設(shè)備核心部件及電子顯微鏡設(shè)備核心部件的研究，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、RTP、薄膜、研磨等工藝設(shè)備以及電子顯微鏡失效性分析檢測設(shè)備，可服務(wù)于 3D NAND、Memory、車規(guī)等晶圓廠的生產(chǎn)需求。
去年，國內(nèi)半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件精密制造供應(yīng)商托倫斯精密完成億元?C 輪融資，投資方為東方嘉富和國新基金。作為國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積設(shè)備和激光設(shè)備細分領(lǐng)域關(guān)鍵零部件精密制造企業(yè)，托倫斯精密此次融資旨在借助領(lǐng)投方提供的平臺，積極尋求與央企的戰(zhàn)略協(xié)同，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈賦能。相比之下，傳統(tǒng)的機加工零部件、管路閥門、密封圈等企業(yè)，難以獲得如此高的資本關(guān)注度。
零部件企業(yè)開始出海
在國內(nèi)市場競爭的同時，半導(dǎo)體設(shè)備零部件廠商積極拓展海外市場。海關(guān)總署數(shù)據(jù)顯示，2024 年中國半導(dǎo)體設(shè)備及零件出口總額達 370.8 億元，出口方式以一般貿(mào)易為主。
值得關(guān)注的是，與設(shè)備廠商相比，零部件廠商的海外營收占比相對較高。以富創(chuàng)精密為例，2024 年其大陸地區(qū)及大陸以外地區(qū)營收分別為 20.67 億元、8.97 億元，同比分別增長 43.95%、48.98%，營收占比分別為 69.75%、30.25%。富創(chuàng)精密通過深化大客戶戰(zhàn)略，不斷提升重點客戶市場份額；持續(xù)加大海外市場投入，成功開拓國際頭部客戶，實現(xiàn)小批量訂單突破，并在先進制程產(chǎn)品領(lǐng)域獲得量產(chǎn)訂單，推動海外重點客戶貢獻的收入同比增長超 40%。
由此可見，零部件廠商的出海戰(zhàn)略成效顯著。眾多企業(yè)積極開展海外市場建設(shè)，富創(chuàng)精密投資?Compart Systems，雙方憑借各自優(yōu)勢共享全球頭部客戶群的供應(yīng)鏈準(zhǔn)入資質(zhì)，有效突破單一企業(yè)的市場滲透瓶頸。江豐電子則在四月份對韓國江豐增加投資，進一步完善韓國生產(chǎn)基地建設(shè)，以提升公司產(chǎn)品的市場占有率和國際競爭力。
