真空電子技術(shù)是指利用真空中帶電粒子的特殊性質(zhì),設(shè)計(jì)、制造和應(yīng)用電子器件的一門技術(shù)。真空電子技術(shù)不僅是現(xiàn)代電子技術(shù)的基礎(chǔ)和核心內(nèi)容,而且已經(jīng)廣泛運(yùn)用于通信、廣播、電視、醫(yī)療、環(huán)保、工業(yè)、科學(xué)研究等領(lǐng)域。
1.真空電子技術(shù)的內(nèi)容
真空電子技術(shù)主要包括以下幾個(gè)方面:
- 電子器件:如三極管、二極管、場效應(yīng)管、光電倍增管等,是實(shí)現(xiàn)電子信息處理、控制和顯示的主要手段。
- 真空封裝:為了保持真空器件內(nèi)部真空度,在器件制造過程中往往需要進(jìn)行真空封裝。
- 真空脫附技術(shù):在真空封裝之前需要對(duì)被封入器件內(nèi)的各種雜質(zhì)氣體進(jìn)行清除。
- 真空測試技術(shù):包括真空度測量、漏率測試等。
- 真空加工技術(shù):如真空電鍍、真空熱處理、真空干燥等。
2.真空電子技術(shù)的應(yīng)用
真空電子技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
- 通信:移動(dòng)通信基站天線因其發(fā)射功率大且受環(huán)境干擾小而常采用微波功率放大器,而微波功率放大器的核心就是真空電子三極管。
- 醫(yī)療:在醫(yī)學(xué)影像處理設(shè)備中廣泛使用X射線管(一種真空電子管),檢測儀器也采用光電倍增管。
- 工業(yè):在半導(dǎo)體晶圓制造和氣象雷達(dá)等領(lǐng)域中也應(yīng)用了真空電子技術(shù)。
- 科學(xué)研究:在粒子加速器、核聚變實(shí)驗(yàn)、飛行器航天探測器等高科技領(lǐng)域也采用了真空電子技術(shù)。
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