知識星球(星球名:芯片制造與封測技術(shù)社區(qū),點擊加入)里的學(xué)員問:TGV用的玻璃有什么類型?各有什么差別?TGV的玻璃類型
一般有三種:無堿玻璃,?硼硅酸鹽玻璃,石英。
無堿玻璃
基于硅酸鹽玻璃,但去除了Na?、K?等堿金屬離子
主要成分:SiO? + Al?O? + B?O? + BaO 等
較脆,抗機械沖擊能力弱
硼硅酸鹽玻璃
SiO? + B?O? 為主,少量Na?O、K?O、Al?O?透明度高,適合激光打孔,是目前最廣泛使用的 TGV 材料
石英玻璃
幾乎為純SiO?(>99.9%),可分為天然石英熔融或合成熔融石英,性能極佳但難加工、成本高
三者性能應(yīng)用比較
特性/玻璃類型 | 無堿玻璃 | 硼硅酸鹽玻璃 | 石英玻璃 |
---|---|---|---|
SiO?含量 | 中高 | 中等 | 最高 |
CTE(熱膨脹系數(shù)) | ~3.5–4.5 ppm/°C | ~3.3–3.8 ppm/°C | ~0.5 ppm/°C |
激光加工性 | 較好 | 很好 | 最難 |
介電性能 | 優(yōu) | 良 | 極優(yōu) |
價格 | 中等偏上 | 低 | 最貴 |
加工難度 | 中等 | 低 | 高 |
用途 | 高頻封裝、RDL | 常規(guī)封裝 | 高端光電、MEMS |
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