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TGV工藝用的玻璃有哪些種類?

06/12 15:10
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知識星球(星球名:芯片制造與封測技術(shù)社區(qū),點擊加入)里的學(xué)員問:TGV用的玻璃有什么類型?各有什么差別?TGV的玻璃類型

一般有三種:無堿玻璃,?硼硅酸鹽玻璃,石英。

無堿玻璃

基于硅酸鹽玻璃,但去除了Na?、K?等堿金屬離子

主要成分:SiO? + Al?O? + B?O? + BaO 等

較脆,抗機械沖擊能力弱

硼硅酸鹽玻璃

SiO? + B?O? 為主,少量Na?O、K?O、Al?O?透明度高,適合激光打孔,是目前最廣泛使用的 TGV 材料

石英玻璃

幾乎為純SiO?(>99.9%),可分為天然石英熔融或合成熔融石英,性能極佳但難加工、成本高

三者性能應(yīng)用比較

特性/玻璃類型 無堿玻璃 硼硅酸鹽玻璃 石英玻璃
SiO?含量 中高 中等 最高
CTE(熱膨脹系數(shù)) ~3.5–4.5 ppm/°C ~3.3–3.8 ppm/°C ~0.5 ppm/°C
激光加工性 較好 很好 最難
介電性能 優(yōu) 極優(yōu)
價格 中等偏上 最貴
加工難度 中等
用途 高頻封裝、RDL 常規(guī)封裝 高端光電、MEMS

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