一文了解薄膜制備分子束外延(MBE)技術(shù)
高質(zhì)量的材料制備是一切器件研究的核心與基礎(chǔ),本篇文章主要講述MBE的原理及制備過程?MBE是一種超高真空設(shè)備,主要在超高真空環(huán)境中將單質(zhì)元素以熱蒸發(fā)的方式直接噴射到襯底表面,實(shí)現(xiàn)外延材料的生長(zhǎng)制備,相比于氫化物氣相外延(HVPE)和金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD),采用MBE技術(shù)的外延生長(zhǎng)是一種更加遠(yuǎn)離平衡態(tài)生長(zhǎng)模式,具有很多獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)?